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公开(公告)号：CN112838136B
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202011614322.7
申请日：2020-12-31
Applicant: 中北大学
IPC: H01L31/0392 , H01L31/0232 , H01L31/109
Abstract: 本发明属于光电探测器技术领域，具体涉及一种石墨烯超带宽光电探测器，包括衬底层、绝缘隔离层、谐振腔波导结构和异质结，所述衬底层上设置有谐振腔波导结构，所述谐振腔波导结构上设置有绝缘隔离层，所述绝缘隔离层上设置有异质结。本发明将石墨烯与二氧化钛结合形成异质结，将石墨烯能探测红光到可见光的特性与二氧化钛材料能吸收紫光的材料特性相结合，使光电探测器的光谱响应包含红外到可见光甚至到紫光的区域，且石墨烯本身的高载流子迁移率等特性也可以提高探测器的光响应度和光增益。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112857435A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202011614349.6
申请日：2020-12-31
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于压力和温度检测技术领域，具体涉及一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器，包括石墨烯敏感层、第一柔性基板、第二柔性基板、第一类叉指形硬化图案层、第二类叉指形硬化图案层、第一复合电极、第二复合电极、互连组件，所述第一类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的上方，所述第二类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的下方，所述第一柔性基板设置在第一类叉指形硬化图案层的上方，所述第二柔性基板设置在第二类叉指形硬化图案层的下方。本发明的结构与已有基础结构相比，优化了设计、减少规格种类，有效地提高了结构的通用性、灵敏性、准确性和稳定性。本发明用于压力和温度的检测。
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公开(公告)号：CN113093819A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110342192.4
申请日：2021-03-30
Applicant: 中北大学
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明属于气体流量检测技术领域，具体涉及一种高精度微型气体流量控制器，所述封装管帽固定在封装管壳上，所述封装管帽为中空结构，所述封装管帽的一端设有进气口，所述封装管帽的另一端设有出气口，所述封装管帽的内部设置有硅衬底，所述硅衬底固定在封装管壳上，所述硅衬底上设置有绝缘层，所述绝缘层和保护膜之间分别设置有温敏元件、加热元件和金属电极，所述温敏元件、加热元件分别连接有金属电极。本发明利用包含具有优良特性的新材料石墨烯，通过内部桥路，大大的提高了热式传感器的灵敏度，并且由于石墨烯材料的高热导率，有效的提高了器件的响应速度，可应用于微量气体流量范围检测，实现对气体流量的控制。
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公开(公告)号：CN113067499A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110334263.6
申请日：2021-03-29
Applicant: 中北大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明属于能量收集技术领域，具体涉及一种柔性复合式压电振动能量收集器，所述柔性石墨烯电容器上的四周固定有PET支架，所述柔性石墨烯电容器上通过小型弹簧连接有微型压电陶瓷，所述微型压电陶瓷上固定有PET连接杆，所述微型压电陶瓷的上方设置有PDMS胶体薄板，所述PDMS胶体薄板上开设有方孔，所述PET连接杆穿过PDMS胶体薄板上的方孔与石墨烯/PVDF复合纤维模块连接，所述PET薄膜封装在石墨烯/PVDF复合纤维模块的外侧。本发明通过弧形结构以及底部弹簧，能够接收各方向的压力和振动的能量，最大效率利用能量，且顶部外壳采用PET薄膜封装，该材料拥有好的柔韧性，器件恢复能力强，能够延长器件使用寿命。本发明用于振动能量的收集。
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公开(公告)号：CN112838136A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011614322.7
申请日：2020-12-31
Applicant: 中北大学
IPC: H01L31/0392 , H01L31/0232 , H01L31/109
Abstract: 本发明属于光电探测器技术领域，具体涉及一种石墨烯超带宽光电探测器，包括衬底层、绝缘隔离层、谐振腔波导结构和异质结，所述衬底层上设置有谐振腔波导结构，所述谐振腔波导结构上设置有绝缘隔离层，所述绝缘隔离层上设置有异质结。本发明将石墨烯与二氧化钛结合形成异质结，将石墨烯能探测红光到可见光的特性与二氧化钛材料能吸收紫光的材料特性相结合，使光电探测器的光谱响应包含红外到可见光甚至到紫光的区域，且石墨烯本身的高载流子迁移率等特性也可以提高探测器的光响应度和光增益。
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公开(公告)号：CN112857435B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202011614349.6
申请日：2020-12-31
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于压力和温度检测技术领域，具体涉及一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器，包括石墨烯敏感层、第一柔性基板、第二柔性基板、第一类叉指形硬化图案层、第二类叉指形硬化图案层、第一复合电极、第二复合电极、互连组件，所述第一类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的上方，所述第二类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的下方，所述第一柔性基板设置在第一类叉指形硬化图案层的上方，所述第二柔性基板设置在第二类叉指形硬化图案层的下方。本发明的结构与已有基础结构相比，优化了设计、减少规格种类，有效地提高了结构的通用性、灵敏性、准确性和稳定性。本发明用于压力和温度的检测。
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