公开(公告)号：CN118258270A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410264647.9

申请日：2024-03-08

Applicant: 中北大学

Inventor： 赵河明 ,  韩晶 ,  田珍珍 ,  李瑞 ,  付博 ,  李慧娟 ,  韩世杰 ,  刘东

IPC: F42B3/10 ,  C23C14/35 ,  C23C14/18 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58 ,  C23C14/30 ,  F42B3/12 ,  F42B3/195

Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，具体公开一种MEMS电‑化学复合含能爆炸箔及其制备方法，包括基片，基片上开设有通孔，通孔内安装有电极，基片设置有与电极导通的爆炸箔，爆炸箔包括在基片上设置的金属膜层和含能Al/CuO结构,金属膜层包括在基片上自下而上设置的TiW膜、Ni膜和Au膜。本发明将电能与化学能相结合，提高薄膜换能元的能量转换效率，增强能量输出，有效降低发火管的起爆电压，增加起爆速度，显著改善发火管的性能；爆炸箔上表面的Au膜能有效防止Cu膜氧化，Au膜与焊锡的粘附性比铜好，有利于装配焊接引线，增加焊接强度，爆炸箔的结构设计合理简单，易单片集成、使用方便。