偏振光照射装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103869543A

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201310349796.7

    申请日:2013-08-12

    Abstract: 本发明提供一种偏振光照射装置,可迅速调整偏振元件的安装角度,以使多个偏振元件彼此的所通过的紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内。实施方式的偏振光照射装置包括线状光源、多个第1偏振元件、可动部、第2偏振元件、受光单元及控制装置。光源照射紫外线。在沿光源的长边方向的不同位置配置有多个第1偏振元件。可动部变更多个第1偏振元件的各个的安装角度。第2偏振元件被通过第1偏振元件的紫外线照射。受光单元接收通过偏振元件、偏振元件的紫外线。控制装置根据所接收的紫外线的强度,控制可动部,以使通过多个第1偏振元件的各个的紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内。

    偏振光照射装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103869543B

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201310349796.7

    申请日:2013-08-12

    Abstract: 本发明提供一种偏振光照射装置,可迅速调整偏振元件的安装角度,以使多个偏振元件彼此的所通过的紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内。实施方式的偏振光照射装置包括线状光源、多个第1偏振元件、可动部、第2偏振元件、受光单元及控制装置。光源照射紫外线。在沿光源的长边方向的不同位置配置有多个第1偏振元件。可动部变更多个第1偏振元件的各个的安装角度。第2偏振元件被通过第1偏振元件的紫外线照射。受光单元接收通过偏振元件、偏振元件的紫外线。控制装置根据所接收的紫外线的强度,控制可动部,以使通过多个第1偏振元件的各个的紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内。

    偏振光照射装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104950520B

    公开(公告)日:2019-08-06

    申请号:CN201410478544.9

    申请日:2014-09-18

    Abstract: 本发明提供一种偏振光照射装置,可在照射范围内获得良好的偏振轴特性。本发明具备光源(5)、滤光器(20)、偏振元件(25)、偏振元件保持部(26)以及遮光板(30)。光源(5)射出光。滤光器(20)被照射自光源(5)射出的光而射出紫外线。偏振元件(25)配设在滤光器(20)的与光源(5)相背向的一侧,入射紫外线且出射偏振光。偏振元件保持部(26)保持偏振元件(25)且具有使自偏振元件(25)出射的偏振光透射的开口部(27)。遮光板(30)配设在偏振元件保持部(26)的与光源(5)相背向的一侧,且包围开口部(27)而配设。

    偏振光照射装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104950520A

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201410478544.9

    申请日:2014-09-18

    Abstract: 本发明提供一种偏振光照射装置,可在照射范围内获得良好的偏振轴特性。本发明具备光源(5)、滤光器(20)、偏振元件(25)、偏振元件保持部(26)以及遮光板(30)。光源(5)射出光。滤光器(20)被照射自光源(5)射出的光而射出紫外线。偏振元件(25)配设在滤光器(20)的与光源(5)相对向的一侧,入射紫针线且出射偏振光。偏振元件保持部(26)保持偏振元件(25)且具有使自偏振元件(25)出射的偏振光透射的开口部(27)。遮光板(30)配设在偏振元件保持部(26)的与光源(5)相对向的一侧,且包围开口部(27)而配设。

    偏振光照射装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103792732A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201310351785.2

    申请日:2013-08-13

    Abstract: 本发明提供一种偏振光照射装置,其可实现高偏光消光比、均匀的偏光方位及宽照射面积的。偏振光照射装置包括射出紫外光的光源部、使所述紫外光平行化的平行光形成部、及偏振光形成部。所述偏振光形成部包括具有设在透明板的第1面的介电质多层膜的板型偏振分光镜,通过使从所述平行光形成部射出且倾斜地入射至所述介电质多层膜的表面的所述紫外光中的s偏光成分反射,使p偏光成分透射,而将分离所得的所述s偏光成分作为照射光束射出。

    紫外线照射装置
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214068692U

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN202120304119.3

    申请日:2021-02-03

    Abstract: 本实用新型提供一种紫外线照射装置,可抑制热所致的发光管的变形,且可抑制硝酸的生成。实施方式的紫外线照射装置包括:发光管,呈筒状,在内部空间封入有稀有气体;内部电极,具有设于所述内部空间的线圈;外部电极,设于所述发光管的外侧;冷却部,在所述外部电极的外侧隔开间隙而设置;气体供给部,对所述间隙供给气体;以及温度控制部,控制所述冷却部的温度及对所述间隙供给的所述气体的温度的至少任一个。

    紫外线照射装置
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214068693U

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN202120304342.8

    申请日:2021-02-03

    Abstract: 本实用新型提供一种紫外线照射装置,可提高照度的均匀性。实施方式的紫外线照射装置包括:发光管,呈筒状,在内部空间封入有稀有气体;内部电极,具有设于所述内部空间的线圈;多个外部电极,在所述发光管的外侧,在沿着所述发光管的管轴的方向排列设置;以及冷却部,在所述多个外部电极的外侧隔开间隙而设置。

    光取向用偏振光照射装置
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205507314U

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201620216526.8

    申请日:2016-03-21

    Abstract: 本实用新型提供一种光取向用偏振光照射装置。本实用新型的光取向用偏振光照射装置包括:照射单元,设置有对被照射物照射偏振光的照射面;载台,搭载被照射物;搬送机构,搬送载台,以使载台上的被照射物以平行于照射面的方式通过从照射面照射偏振光的照射区域;位置检测部件,在由搬送机构所搬送的载台的移动中,对至所述载台或所述被照射物的距离进行测定,而对载台或被照射物的位置进行检测;以及控制部件,基于位置检测部件所检测出的检测结果,来进行规定的控制。藉此,可适当管理偏振光相对于被照射物的照射状态,从而抑制了被照射物的制造品质下降。

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