公开(公告)号：CN112567306A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201880004009.6

申请日：2018-08-31

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 手塚知幸 ,  井波治树 ,  龟山涉 ,  菅沼睦

IPC: G05B23/02 ,  B21B38/00 ,  B21C51/00

Abstract: 本发明提供一种制造过程监视装置，其不需要用于判定异常的阈值，就能够判定制造过程的异常。制造过程监视装置具有：数据转换部，其转换制造设备的过程数据；特征量分析部，其根据特征量的信息对转换后的数据进行分析；数据复原部，其根据特征量的信息和分析出的结果的信息，按多个类别中的每个类别来复原数据；类似度计算部，其根据分析时所使用的数据和复原了的数据，按多个类别的每个类别计算类似度；类别判定部，其根据多个类别的每个类别的类似度来判定数据的类别；类别分类部，其将过程数据所属的类别进行分类；过程状态诊断部，其根据判定出的类别与分类后的类别的比较结果，对制造过程的状态进行诊断。

公开(公告)号：CN108885443A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201680079567.X

申请日：2016-02-25

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 手塚知幸 ,  筱永裕之 ,  龟山涉 ,  菅沼睦 ,  永岛元贵

IPC: G05B19/418 ,  G05B23/02

CPC classification number: G05B19/418 ,  G05B23/02 ,  Y02P90/02 ,  Y02P90/14

Abstract: 提供能够与制造设备的状态无关地进行制造设备的异常诊断的制造设备的异常诊断装置。制造设备的异常诊断装置具备：特征量存储部，存储对制造设备的作业状态进行捕捉而得的特征量的信息；数据变换部，对至少包含所述制造设备的运转数据或者所述制造设备中设置的测定装置的测定数据在内的数据进行变换；特征量分析部，基于所述特征量存储部所存储的特征量的信息对由所述数据变换部变换后的数据进行分析；数据复原部，基于所述特征量存储部所存储的特征量的信息和由所述特征量分析部进行分析而得的结果的信息对数据进行复原；异常度运算部，基于由所述特征量分析部进行分析时使用的数据和由所述数据复原部复原后的数据运算异常度；以及异常诊断部，基于由所述异常度运算部运算出的异常度进行异常诊断。