公开(公告)号：CN102449185A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201080022784.8

申请日：2010-05-25

Applicant: 东洋炭素株式会社

Inventor： 阿部纯久 ,  渡边将成 ,  田村修

IPC: C23C8/64

CPC classification number: C23C8/64

Abstract: 提供渗碳处理造成的变形小、平面部的平坦度良好且能够均匀地进行渗碳处理的钽构件的渗碳处理方法。其为用于对具有平面部(1a)的由钽或钽合金构成的钽构件(1)，实施使碳从该构件(1)的表面向内部渗透的渗碳处理的方法，其特征在于包括：通过在前端部(6a)形成锥状的多根支撑棒(6)支撑平面部(1a)，将钽构件(1)配置于存在有碳源的腔室(3)内的工序；以及通过将腔室(3)内减压并加热，使来自碳源的碳从钽构件(1)的表面渗透以实施渗碳处理的工序。

公开(公告)号：CN102449185B

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201080022784.8

申请日：2010-05-25

Applicant: 东洋炭素株式会社

Inventor： 阿部纯久 ,  渡边将成 ,  田村修

IPC: C23C8/64

CPC classification number: C23C8/64

Abstract: 提供渗碳处理造成的变形小、平面部的平坦度良好且能够均匀地进行渗碳处理的钽构件的渗碳处理方法。其为用于对具有平面部(1a)的由钽或钽合金构成的钽构件(1)，实施使碳从该构件(1)的表面向内部渗透的渗碳处理的方法，其特征在于包括：通过在前端部(6a)形成锥状的多根支撑棒(6)支撑平面部(1a)，将钽构件(1)配置于存在有碳源的腔室(3)内的工序；以及通过将腔室(3)内减压并加热，使来自碳源的碳从钽构件(1)的表面渗透以实施渗碳处理的工序。