公开(公告)号：CN107526253B

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN201710413831.5

申请日：2017-06-05

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  梁敦植

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含含有选自由下述化学式1‑1和1‑2组成的组中的至少一种重复单元的共聚物和溶剂。下述化学式1‑1中，Ar1和Ar2各自独立地为碳原子数6～30的二价芳烃基，R1为碳原子数1～6的烷基或碳原子数6～35的芳基，Ar1、Ar2和R1各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，n为1～190的整数；下述化学式1‑2中，Ar1和Ar2各自独立地为碳原子数6～30的二价芳烃基，R2为氢原子或碳原子数1～6的烷基，Ar1和Ar2各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，n为1～190的整数。

公开(公告)号：CN109212902B

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN201810469903.2

申请日：2018-05-16

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 梁敦植 ,  金烔永 ,  崔汉永

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物及图案形成方法，该硬掩模用组合物包含苄醇(benzyl alcohol)单元与咔唑(carbazole)单元结合而成的芳香族化合物、和溶剂。通过使用硬掩模用组合物，能够形成填隙特性、耐蚀刻性提高了的硬掩模。

公开(公告)号：CN110066533B

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN201910025174.6

申请日：2019-01-10

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  琴中韩 ,  梁敦植

IPC: C09D1/00 ,  C09D7/63

Abstract: 用于形成绝缘层的组合物，包括二氧化硅溶胶、致孔剂和热酸发生剂。使用该组合物可形成具有高弹性和低k特性的绝缘层。

公开(公告)号：CN105938299B

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201610127206.X

申请日：2016-03-07

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 任玟柱 ,  崔硕均 ,  梁敦植

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供化学增幅型感光性树脂组合物及由其制造的绝缘膜。本发明涉及化学增幅型感光性树脂组合物和由其制造的绝缘膜，该化学增幅型感光性树脂组合物通过包含：包括(a‑1)酚性羟基或羧基的至少一部分用酸分解性基团保护的树脂、(a‑2)含有环氧基的丙烯酸系树脂和(a‑3)含有氧杂环丁烷基的丙烯酸系树脂的(A)粘结剂树脂、(B)光致产酸剂、和(C)溶剂，从而可得到显影性优异、具有改善的感度、图案的透过度和斜度以及经时稳定性得以确保的绝缘膜。

公开(公告)号：CN108628102A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810200722.X

申请日：2018-03-12

Applicant: 东友精细化工有限公司 ,  崔相俊

Inventor： 梁敦植 ,  梁振锡 ,  朴根永 ,  崔汉永 ,  崔相俊

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含芘系连接化合物与含有羟基的芳香族化合物的聚合物、及溶剂。由硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、溶解性和平坦性同时提高了的硬掩模。

公开(公告)号：CN105938294A

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201610122336.4

申请日：2016-03-03

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 全吉敏 ,  金圣彬 ,  梁敦植

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  C08F212/12 ,  C08F220/06 ,  C08F232/08 ,  C08F220/32

Abstract: 本发明涉及负型感光性树脂组合物，更具体地，涉及负型感光性树脂组合物，其通过包含具有环氧基或氧杂环丁烷基的碱可溶性树脂；具有环氧基的酚醛清漆低聚物系固化剂；和三官能以上的多官能硫醇化合物，能够制造具有显著改善的耐化学性、即使蚀刻剂处理以后仍具有优异的密合力、不产生表面损伤、膜收缩的图案。

公开(公告)号：CN107797385B

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN201710686901.4

申请日：2017-08-11

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 梁敦植 ,  崔汉永

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，更详细而言，提供通过包含含有特定结构的重复单元的共聚物和溶剂，从而能够形成溶解性和涂布均匀性优异且成膜后耐裂纹性优异的抗蚀剂下层膜(硬掩模)的硬掩模用组合物。

公开(公告)号：CN111587403A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201980007915.6

申请日：2019-02-20

Applicant: 东友精细化工有限公司 ,  崔相俊

Inventor： 崔相俊 ,  梁敦植 ,  李殷相 ,  崔汉永 ,  赵庸桓 ,  金烔永

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/004 ,  C08L65/00 ,  C08G61/12

Abstract: 本发明的硬掩模用组合物包含吲哚衍生物和芳香族单元。由硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、涂布性和耐化学性同时提高了的硬掩模。

公开(公告)号：CN109212905A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810482175.9

申请日：2018-05-18

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  梁敦植 ,  金烔永

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/09 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含含有特定结构的重复单元的聚合物和溶剂。本发明的实施例能够提供平坦度、涂布均匀性、溶解性和耐蚀刻性优异的硬掩模用组合物。

公开(公告)号：CN108427246A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201810130569.8

申请日：2018-02-08

Applicant: 东友精细化工有限公司 ,  崔相俊

Inventor： 梁敦植 ,  梁振锡 ,  朴根永 ,  崔汉永 ,  崔相俊

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明涉及一种硬掩模用组合物，其通过包含碳原子数6～35的芳香族化合物与下述化学式1的化合物的聚合物、以及溶剂，从而能够形成平坦性、溶解性和耐蚀刻性同时提高的硬掩模。下述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～8的烷基，彼此可以连接而形成环，烷基可以在主链上进一步包含一个以上的氧原子，Ar为来源于碳原子数6～20的芳香族化合物的官能团。