公开(公告)号：CN105487354B

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201510574060.9

申请日：2015-09-10

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 李喻珍 ,  高京俊 ,  金正铉 ,  金圣植

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明公开一种抗蚀剂剥离剂组合物。该抗蚀剂剥离剂组合物表现出优异的剥离能力，并能使在抗蚀剂剥离工艺中金属布线的腐蚀减到最小并且防止在基板上形成污渍。本发明还提供一种利用该抗蚀剂剥离剂组合物来剥离抗蚀剂的方法。

公开(公告)号：CN105425554B

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201510589693.7

申请日：2015-09-16

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 金正铉 ,  高京俊 ,  李喻珍 ,  金圣植

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明公开了一种抗蚀剂剥离剂组合物，包括：由以下化学式1表示的化合物(A)；包括伯烷醇胺和叔烷醇胺的烷醇胺(B)；伯醇(C)；以及极性非质子溶剂(D)；本发明还公开了一种用于制造平板显示器基板的方法以及一种平板显示器基板，

公开(公告)号：CN107957661A

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201710941684.9

申请日：2017-10-11

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 高京俊 ,  金圣植 ,  金正铉 ,  李喻珍 ,  崔汉永

IPC: G03F7/42

CPC classification number: G03F7/426

Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物及利用其的抗蚀剂的剥离方法，所述抗蚀剂剥离液组合物的特征在于，包含下述化学式1所表示的化合物和有机碱化合物，下述化学式1中，R为C2～C12烃基，其中，上述烃基被选自由烷氧基、羟基、羧基、氨基、磺酰基和氰基组成的组中的一种以上基团取代或非取代。上述抗蚀剂剥离液组合物即使在具有亲核性高或具有强碱的组成的情况下，也会因包含化学式1所表示的化合物而具有强防腐蚀力效果。[化学式1]

公开(公告)号：CN103668207B

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201210359316.0

申请日：2012-09-24

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 李昔准 ,  权五柄 ,  刘仁浩 ,  张尚勋 ,  朴英哲 ,  李喻珍 ,  李俊雨 ,  金相泰 ,  秦荣晙

IPC: C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  H01L21/3213

Abstract: 本发明公开了一种蚀刻剂和使用该蚀刻剂制造显示设备的方法。一种根据本发明的示例性实施方式的蚀刻剂包括：重量百分比含量为约0.5%至约20%的过硫酸盐；重量百分比含量为约0.01%至约2%的氟化合物；重量百分比含量为约1%至约10%的无机酸；重量百分比含量为约0.5%至约5%的环胺化合物；重量百分比含量为约0.1%至约5%的氯化合物；重量百分比含量为约0.05%至约3%的铜盐；重量百分比含量为约0.1%至约10%的有机酸或有机酸盐；和水。

公开(公告)号：CN105204301A

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201510345979.0

申请日：2015-06-19

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 李喻珍 ,  金圣植 ,  房淳洪

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明提供了一种抗蚀剂剥离剂组合物，其包括40至55重量％的丙酰胺化合物、35至55重量％的伯醇、和0.1至20重量％的具有1至10个碳原子的烷醇胺，由于采用高沸点的伯醇和烷醇胺，其具有对抗蚀剂的高溶解性、生态友好和经济优势，并且取得显著增加的剥离能力和溶解性，因而改善了生产收益；以及一种利用所述组合物剥离抗蚀剂的方法。

公开(公告)号：CN103668207A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201210359316.0

申请日：2012-09-24

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 李昔准 ,  权五柄 ,  刘仁浩 ,  张尚勋 ,  朴英哲 ,  李喻珍 ,  李俊雨 ,  金相泰 ,  秦荣晙

IPC: C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  H01L21/3213

Abstract: 本发明公开了一种蚀刻剂和使用该蚀刻剂制造显示设备的方法。一种根据本发明的示例性实施方式的蚀刻剂包括：重量百分比含量为约0.5%至约20%的过硫酸盐；重量百分比含量为约0.01%至约2%的氟化合物；重量百分比含量为约1%至约10%的无机酸；重量百分比含量为约0.5%至约5%的环胺化合物；重量百分比含量为约0.1%至约5%的氯化合物；重量百分比含量为约0.05%至约3%的铜盐；重量百分比含量为约0.1%至约10%的有机酸或有机酸盐和水。

公开(公告)号：CN111781808A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN202010694093.8

申请日：2016-08-31

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 李喻珍 ,  高京俊 ,  金圣植 ,  金正铉 ,  崔汉永

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明涉及包含(a)化学式1所表示的仲胺、(b)非质子有机溶剂化合物和(c)伯醇化合物的抗蚀剂剥离液组合物，包括利用该抗蚀剂剥离液组合物对平板显示器基板进行清洗的工序的平板显示器基板的制造方法，及由上述制造方法制造的平板显示器基板。化学式1中，R为C2～C20的直链或支链烷基、或者C5～C8的环烷基等。[化学式1]

公开(公告)号：CN104932210B

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201510124654.X

申请日：2015-03-20

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 高京俊 ,  金正铉 ,  李喻珍 ,  金圣植

IPC: G03F7/42 ,  G03F7/00

Abstract: 本申请公开了一种包含噁唑烷‑5‑基甲胺或六氢嘧啶‑5‑醇的光阻剥离组合物，使用该光阻剥离组合物剥离光阻的方法，用于显示器的平板及其制造方法，以及平板显示器及其制造方法。

公开(公告)号：CN105204301B

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201510345979.0

申请日：2015-06-19

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 李喻珍 ,  金圣植 ,  房淳洪

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明提供了一种抗蚀剂剥离剂组合物，其包括40至55重量％的丙酰胺化合物、35至55重量％的伯醇、和0.1至20重量％的具有1至10个碳原子的烷醇胺，由于采用高沸点的伯醇和烷醇胺，其具有对抗蚀剂的高溶解性、生态友好和经济优势，并且取得显著增加的剥离能力和溶解性，因而改善了生产收益；以及一种利用所述组合物剥离抗蚀剂的方法。

公开(公告)号：CN106995922A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201710033540.3

申请日：2011-04-28

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 林玟基 ,  权五柄 ,  李喻珍 ,  刘仁浩 ,  李俊雨 ,  朴英哲 ,  张尚勋

IPC: C23F1/42 ,  H01L21/3213

CPC classification number: C23F1/16 ,  H01L21/32134 ,  C23F1/42

Abstract: 本发明涉及一种用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物，基于组合物的总重量，包含：5wt％～20wt％的过硫酸盐，0.01wt％～2wt％的氟化合物，1wt％～10wt％的选自无机酸、无机酸盐及它们的混合物中的一种或多种，0.3wt％～5wt％的环状胺化合物，0.01wt％～5wt％的氯化合物，及其余为水。