一种空心阴极辅助活性屏真空渗镀一体设备及其应用方法

    公开(公告)号:CN119392187A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202411510636.0

    申请日:2024-10-28

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种空心阴极辅助活性屏真空渗镀一体设备及其应用方法,所述设备包括真空渗镀室、真空系统、气体控制系统、活性屏、空心阴极系统、工件载物台和电源控制系统;所述真空渗镀室通过真空系统和气体控制系统获得高真空度和所需工作气氛;电源控制系统独立控制活性屏、工件载物台和空心阴极系统的电位。本发明中的空心阴极系统不仅提供渗镀层溅射原子,而且提升了扩渗气体的离化率;活性屏设计不仅可以实现金属表面的元素均匀扩渗,而且增强了溅射粒子的利用率;通过活性屏与空心阴极系统的协同配合,本发明实现了增强的渗镀一体化功能。本发明适用面广,为真空表面处理行业提供了坚实的技术支撑和可靠的解决方案,具有巨大的经济效益。

    高效抗菌促成骨的纳米复合氮化硅涂层及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118064829A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410034829.7

    申请日:2024-01-10

    Abstract: 本发明公开了一种高效抗菌促成骨的纳米复合氮化硅涂层及制备方法和应用,以种植体为基体,由下往上依次包括离子互混层、粘结层、过渡层和氮化硅层;制备方法包括:(1)使用高能粒子对种植体的表面进行轰击清洗,并在种植体表面形成离子互混层;(2)使用磁控溅射离子镀沉积技术,在离子互混层的表层沉积粘结层;(3)保持硅靶材电流不变,通过调节氮气流量和腔体内压强,得到过渡层;(4)通过使用辉光强度控制氮气流量,沉积得到氮化硅层;所得纳米复合氮化硅涂层可应用于口腔种植体领域中。本发明涂层显著提高种植体的成骨和抗菌性能,为种植体在体内的长期使用提供了可靠的保障。

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