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公开(公告)号：CN117492393A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311415536.5
申请日：2023-10-27
Applicant: 东南大学
IPC: G05B19/042 , H03M3/00 , G01P21/02
Abstract: 本发明涉及MEMS惯性器件技术领域，提出了一种三轴加速度计开关切换校零机电sigma‑delta闭环系统，包括加速度计结构、开关切换电路、机电sigma‑delta闭环控制回路以及数字处理电路。加速度计结构引脚连接开关切换电路输入引脚，开关切换电路输出引脚连接机电sigma‑delta闭环控制回路引脚，数字处理电路与机电sigma‑delta闭环控制回路输出引脚连接，对机电sigma‑delta闭环控制回路的输出信号进行滤波补偿，得到输入加速度。数字处理电路产生控制信号到开关切换电路，实现开关切换电路输入引脚与输出引脚的连接方案选择，实现加速度计结构器件和机电sigma‑delta闭环控制回路的连接，本发明通过数字处理电路改变开关切换电路连接方式，实现加速度计结构器件内部误差的在线校准与补偿。
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