公开(公告)号：CN106206702B

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201610571475.5

申请日：2016-07-19

Applicant: 东南大学

Inventor： 祝靖 ,  张龙 ,  赵敏娜 ,  孙伟锋 ,  陆生礼 ,  时龙兴

IPC: H01L29/739 ,  H01L29/06

Abstract: 一种分段双沟槽高压屏蔽的横向绝缘栅双极器件，包括：P型衬底，其上设有埋氧层，之上为N型外延层，在外延层表面淀积氧化层，在外延层上设有环形沟槽，环形沟槽在埋氧层上，在N型外延层中设有P型体区和N型缓冲层，P型体区和N型缓冲层位于环形沟槽内侧，缓冲层位于P型体区内侧，在P型体区内设有N型和P型发射极，在P型体区内边界上方有多晶硅栅，在N型缓冲层中设有P型集电极，在缓冲层外边界上设有被氧化层包围的多晶硅场板，在P型集电极上引出的金属连线通过U形开口延伸，在开口外侧设有连续沟槽，在环形沟槽及连续沟槽内填充有二氧化硅，其特征在于，在开口与连续沟槽之间设有分段沟槽，在相邻分段沟槽间有载流子撤离通道。

公开(公告)号：CN106206702A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610571475.5

申请日：2016-07-19

Applicant: 东南大学

Inventor： 祝靖 ,  张龙 ,  赵敏娜 ,  孙伟锋 ,  陆生礼 ,  时龙兴

IPC: H01L29/739 ,  H01L29/06

CPC classification number: H01L29/7393 ,  H01L29/0603

Abstract: 一种分段双沟槽高压屏蔽的横向绝缘栅双极器件，包括：P型衬底，其上设有埋氧层，之上为N型外延层，在外延层表面淀积氧化层，在外延层上设有环形沟槽，环形沟槽在埋氧层上，在N型外延层中设有P型体区和N型缓冲层，P型体区和N型缓冲层位于环形沟槽内侧，缓冲层位于P型体区内侧，在P型体区内设有N型和P型发射极，在P型体区内边界上方有多晶硅栅，在N型缓冲层中设有P型集电极，在缓冲层外边界上设有被氧化层包围的多晶硅场板，在P型集电极上引出的金属连线通过U形开口延伸，在开口外侧设有连续沟槽，在环形沟槽及连续沟槽内填充有二氧化硅，其特征在于，在开口与连续沟槽之间设有分段沟槽，在相邻分段沟槽间有载流子撤离通道。