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公开(公告)号：CN115208352B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211096990.4
申请日：2022-09-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的可调滤波器，包括衬底、电感、可折叠梁压焊块、可折叠梁、折痕结构、金属接触点、介质层、热膨胀结构压焊块、热膨胀结构推动杆、热膨胀结构支梁和菱形结构梁和接地板。本发明型滤波器通过控制金属接触点依次接触，改变可折叠梁所构成的开路短截线的长度实现多点调谐的滤波器，具有结构简单、调谐范围大、工艺兼容等优势。
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公开(公告)号：CN115208352A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202211096990.4
申请日：2022-09-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的可调滤波器，包括衬底、电感、可折叠梁压焊块、可折叠梁、折痕结构、金属接触点、介质层、热膨胀结构压焊块、热膨胀结构推动杆、热膨胀结构支梁和菱形结构梁和接地板。本发明型滤波器通过控制金属接触点依次接触，改变可折叠梁所构成的开路短截线的长度实现多点调谐的滤波器，具有结构简单、调谐范围大、工艺兼容等优势。
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公开(公告)号：CN115188559B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211096989.1
申请日：2022-09-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的MEMS电感，包括衬底，第一输入/输出微带线、第二输入/输出微带线、折纸结构固定点、金属电感结构、绝缘结构、热驱动梁位移放大结构、电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点、折叠区绝缘结构、接地板以及锚区折叠节点。本发明MEMS电感为可重构三维结构，具有Q值高、工艺兼容等优点。
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公开(公告)号：CN115188559A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202211096989.1
申请日：2022-09-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的MEMS电感，包括衬底，第一输入/输出微带线、第二输入/输出微带线、折纸结构固定点、金属电感结构、绝缘结构、热驱动梁位移放大结构、电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点、折叠区绝缘结构、接地板以及锚区折叠节点。本发明MEMS电感为可重构三维结构，具有Q值高、工艺兼容等优点。
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