一种高灵敏度宽量程力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN105668500B

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201610034473.2

    申请日:2016-01-19

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: B81B3/00 B81C1/00 G01L1/18

    摘要: 本发明公开了一种高灵敏度宽量程的力传感器及其制造方法,该传感器包括衬底(1),下层硅悬臂梁(2),上层硅薄膜(3),第一介质层(41)和第二介质层(42),第一压阻(51)和第二压阻第一导线(61)和第二引出导线(62);其中,衬底(1)中空,下层硅梁(2)位于衬底(1)中心上表面中空区域内,且表面和衬底(1)上表面齐平,下层硅梁(2)一端和衬底(1)连接,另一段悬空。该传感器既有在小力作用下的高灵敏度,也有很宽的测量范围。整个工艺简单。(52),以及第一压阻(51)和第二压阻(52)的引出

    一种测风传感器芯片结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN104977425A

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:CN201510346422.9

    申请日:2015-06-19

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: G01P5/08 G01P13/02

    摘要: 本发明公开了一种测风传感器芯片结构及其制造方法,利用聚合物的形状可塑特性形成与薄膜中心支撑体稳固嵌套的中心感风聚合物柱,再利用感风柱的摆动引起的薄膜应力造成的压敏电阻阻值的变化测量风速风向。所述感风柱不易与感压薄膜分离,使得传感器具有结构整体性好、可靠性高的特点。

    温度变化索力监测的受损索支座广义位移递进式识别方法

    公开(公告)号:CN102706674B

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201210174429.3

    申请日:2012-05-30

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: G01M99/00 G01K13/00 G01L5/00

    摘要: 温度变化索力监测的受损索支座广义位移递进式识别方法基于索力监测、通过监测支座广义位移、监测索结构温度、环境温度和受损索损伤程度来决定是否需要更新索结构的力学计算基准模型,得到新的计入支座广义位移、受损索损伤程度、温度的索结构的力学计算基准模型,在此模型的基础上依据被监测量的当前数值向量同被监测量当前初始数值向量、单位损伤被监测量数值单位变化矩阵和待求的当前名义损伤向量间存在的近似线性关系,据此可以在有和温度变化时,比较准确地识别受损索和支座广义位移。

    温度变化索力监测的受损索和支座广义位移识别方法

    公开(公告)号:CN102706670B

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201210174013.1

    申请日:2012-05-30

    申请人: 东南大学

    摘要: 温度变化索力监测的受损索和支座广义位移识别方法基于索力监测,通过监测索结构温度和环境温度来决定是否需要更新索结构的力学计算基准模型,得到计入索结构温度和环境温度的索结构的力学计算基准模型,在此模型的基础上计算获得单位损伤被监测量单位变化矩阵。依据被监测量当前数值向量同被监测量当前初始数值向量、单位损伤被监测量单位变化矩阵、单位损伤或单位广义位移向量和待求的被评估对象当前名义损伤向量间存在的近似线性关系算出被评估对象当前名义损伤向量的非劣解,据此可以在有温度变化时,利用多目标优化算法等合适的算法快速识别出支座广义位移和受损索。

    支座广义位移温度变化基于应变监测的受损索识别方法

    公开(公告)号:CN102735471B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201210173759.0

    申请日:2012-05-30

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: G01M99/00 G01K13/00 G01B21/32

    摘要: 支座广义位移温度变化基于应变监测的受损索识别方法基于应变监测,通过监测支座广义位移、索结构温度和环境温度来决定是否需要更新索结构的力学计算基准模型,得到计入支座广义位移、索结构温度和环境温度的索结构的力学计算基准模型,在此模型的基础上计算获得单位损伤被监测量变化矩阵。依据被监测量当前数值向量同被监测量当前初始数值向量、单位损伤被监测量变化矩阵、单位损伤标量和待求的索系统当前名义损伤向量间存在的近似线性关系算出索系统当前名义损伤向量的非劣解,据此可以在有支座位移和温度变化时,比较准确地确定受损索的位置及其损伤程度。

    支座角位移温度变化时基于应变监测的受损索识别方法

    公开(公告)号:CN102735469B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201210173715.8

    申请日:2012-05-30

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: G01M99/00 G01B21/32 G01B21/22

    摘要: 支座角位移温度变化时基于应变监测的受损索识别方法基于应变监测,通过监测支座角位移、索结构温度和环境温度来决定是否需要更新索结构的力学计算基准模型,得到计入支座角位移、索结构温度和环境温度的索结构的力学计算基准模型,在此模型的基础上计算获得单位损伤被监测量变化矩阵。依据被监测量当前数值向量同被监测量当前初始数值向量、单位损伤被监测量变化矩阵、单位损伤标量和待求的索系统当前名义损伤向量间存在的近似线性关系算出索系统当前名义损伤向量的非劣解,据此可以在有支座位移和温度变化时,比较准确地确定受损索的位置及其损伤程度。

    支座角位移温度变化时基于混合监测的受损索识别方法

    公开(公告)号:CN102735466B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201210173692.0

    申请日:2012-05-30

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: G01M99/00 G01K13/00

    摘要: 支座角位移温度变化时基于混合监测的受损索识别方法基于混合监测,通过监测支座角位移、索结构温度和环境温度来决定是否需要更新索结构的力学计算基准模型,得到计入支座角位移、索结构温度和环境温度的索结构的力学计算基准模型,在此模型的基础上计算获得单位损伤被监测量变化矩阵。依据被监测量当前数值向量同被监测量当前初始数值向量、单位损伤被监测量变化矩阵、单位损伤标量和待求的索系统当前名义损伤向量间存在的近似线性关系算出索系统当前名义损伤向量的非劣解,据此可以在有支座位移和温度变化时,比较准确地确定受损索的位置及其损伤程度。

    温度变化时基于空间坐标监测的松弛索识别方法

    公开(公告)号:CN102706598B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201210171415.6

    申请日:2012-05-29

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: G01M99/00 G01B21/00

    摘要: 温度变化时基于空间坐标监测的松弛索识别方法基于空间坐标监测、通过监测索结构温度和环境温度来决定是否需要更新索结构的力学计算基准模型,只有当索结构温度和环境温度发生变化时才更新索结构的力学计算基准模型,从而得到新的计入索结构温度和环境温度的索结构的力学计算基准模型,在此模型的基础上计算获得单位损伤被监测量变化矩阵。依据被监测量当前数值向量同被监测量当前初始数值向量、单位损伤被监测量变化矩阵、单位损伤标量和待求的索系统当前名义损伤向量间存在的近似线性关系算出索系统当前名义损伤向量的非劣解,在使用无损检测方法鉴别出真实受损索后,剩下的有健康问题的索就是松弛索。

    温度变化时基于空间坐标监测的松弛索逼近式识别方法

    公开(公告)号:CN102706589B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201210171327.6

    申请日:2012-05-29

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: G01M99/00 G01K3/00 G01K3/10

    摘要: 温度变化时基于空间坐标监测的松弛索逼近式识别方法基于空间坐标监测,通过监测索结构温度、环境温度和支承索健康程度来决定是否需要更新索结构的力学计算基准模型。依据被监测量的当前数值向量同被监测量当前初始数值向量、单位损伤被监测量数值变化矩阵和待求的当前名义损伤向量间存在的近似线性关系,可以利用多目标优化算法等算法快速算出当前名义损伤向量的非劣解,据此可以在有温度变化时识别出虚拟受损索,在使用无损检测等方法从中鉴别出真实受损索后,剩下的虚拟受损索就是松弛的支承索,依据力学等效关系就可确定松弛的支承索的需调整的索长。

    温度变化空间坐标监测的受损索和支座广义位移识别方法

    公开(公告)号:CN102706666B

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:CN201210173869.7

    申请日:2012-05-30

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: G01M99/00 G01B21/02

    摘要: 温度变化空间坐标监测的受损索和支座广义位移识别方法基于空间坐标监测,通过监测索结构温度和环境温度来决定是否需要更新索结构的力学计算基准模型,得到计入索结构温度和环境温度的索结构的力学计算基准模型,在此模型的基础上计算获得单位损伤被监测量单位变化矩阵。依据被监测量当前数值向量同被监测量当前初始数值向量、单位损伤被监测量单位变化矩阵、单位损伤或单位广义位移向量和待求的被评估对象当前名义损伤向量间存在的近似线性关系算出被评估对象当前名义损伤向量的非劣解,据此可以在有温度变化时,利用多目标优化算法等合适的算法快速识别出支座广义位移和受损索。