公开(公告)号：CN119291918A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202411323346.5

申请日：2024-09-23

Applicant: 东南大学

Inventor： 陈洁 ,  张中锦 ,  张海强 ,  严文杰 ,  裘红翠 ,  李柘霖 ,  杨晨轩

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  G02B26/12 ,  G01S7/481 ,  H03L7/085

Abstract: 本发明公开了一种具有闭环驱动电路的电磁式扭转微镜系统，由微镜镜板、压阻传感器、压阻接口电路和锁相环电路组成，锁相环电路中在初始时向微镜镜板输入正弦激励信号，镜板在冲激下受洛伦兹力影响围绕扭转梁翻转，扭转梁的形变会改变梁末端压阻传感器电桥的电阻阻值，产生携带频率信息的正弦波电信号输出，经过压阻接口电路，将电信号转换为同频方波信号。锁相环电路追踪压阻接口电路输出与压控振荡器输出间的频率差和相位差，并调整锁相环电路输出的正弦激励信号，直至稳定输出系统的固有频率信号，实现闭环驱动电磁式谐振扭转微镜。本发明闭环驱动的追踪功能使微镜始终以谐振状态工作，且操作简单，设计方便，有较好的工程应用价值。