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公开(公告)号:CN102149247B
公开(公告)日:2012-10-10
申请号:CN201110087556.5
申请日:2011-04-08
Applicant: 东南大学
IPC: H05H1/30
Abstract: 本发明提出了一种多级电离产生低能量高密度等离子体装置及方法。装置分三级:第一级由针尖电极与金属棒电极组成,第二级由筒状金属电极与金属棒电极组成,第三级由金属网电极与金属棒电极组成。多级电离产生低能量高密度等离子体方法:通入5~50m3/h气体,气体在第一级50~100W电源功率作用下初步电离,初步电离出的等离子体经第二级50~150W电源功率的电离产生较大密度且较均匀的等离子体,第一、二级电离出的等离子体经第三级50~150W电源功率的电离与此级对气流的扰动,最终,在低功率输入作用下喷出电子能量不超过1ev、电子密度量级高达1022/m3、截面直径为15~20mm的均匀非平衡态等离子体射流。
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公开(公告)号:CN102149247A
公开(公告)日:2011-08-10
申请号:CN201110087556.5
申请日:2011-04-08
Applicant: 东南大学
IPC: H05H1/30
Abstract: 本发明提出了一种多级电离产生低能量高密度等离子体装置及方法。装置分三级:第一级由针尖电极与金属棒电极组成,第二级由筒状金属电极与金属棒电极组成,第三级由金属网电极与金属棒电极组成。多级电离产生低能量高密度等离子体方法:通入5~50m3/h气体,气体在第一级50~100W电源功率作用下初步电离,初步电离出的等离子体经第二级50~150W电源功率的电离产生较大密度且较均匀的等离子体,第一、二级电离出的等离子体经第三级50~150W电源功率的电离与此级对气流的扰动,最终,在低功率输入作用下喷出电子能量不超过1ev、电子密度量级高达1022/m3、截面直径为15~20mm的均匀非平衡态等离子体射流。
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公开(公告)号:CN202103933U
公开(公告)日:2012-01-04
申请号:CN201120100593.0
申请日:2011-04-08
Applicant: 东南大学
IPC: H05H1/30
Abstract: 本实用新型提出了一种多级电离产生低能量高密度等离子体装置。装置分三级:第一级由针尖电极与金属棒电极组成,第二级由筒状金属电极与金属棒电极组成,第三级由金属网电极与金属棒电极组成。多级电离产生低能量高密度等离子体方法:通入5~50m3/h气体,气体在第一级50~100W电源功率作用下初步电离,初步电离出的等离子体经第二级50~150W电源功率的电离产生较大密度且较均匀的等离子体,第一、二级电离出的等离子体经第三级50~150W电源功率的电离与此级对气流的扰动,最终,在低功率输入作用下喷出电子能量不超过1ev、电子密度量级高达1022/m3、截面直径为15~20mm的均匀非平衡态等离子体射流。
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