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公开(公告)号:CN107002215A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580058324.3
申请日:2015-10-28
Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和由Si构成的第四元素作为构成元素。喷镀用粉末以40摩尔%以下的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.002以上且0.03以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相,或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的峰中强度最大的峰的强度的0.1倍以下。
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公开(公告)号:CN107002217B
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201580058305.0
申请日:2015-10-28
Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和选自Al和Mg的第四元素作为构成元素,以20摩尔%以上的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.05以上且0.5以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相,或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的最大峰的强度的0.1倍以下。
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公开(公告)号:CN116547784A
公开(公告)日:2023-08-04
申请号:CN202180083075.9
申请日:2021-11-18
IPC: H01L21/3065
Abstract: 提供一种耐等离子体侵蚀性优异、能够长期保护等离子体蚀刻装置的构件不受等离子体侵蚀的影响、有助于设备的稳定生产、构件的长寿命化的喷镀覆膜。作为本发明的一个方式的喷镀材料由复合化物形成,所述复合化物以40mol%以上且80mol%以下的比例包含稀土氟化物,以10mol%以上且40mol%以下的比例包含氟化镁,以0mol%以上且40mol%以下的比例包含氟化钙。
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公开(公告)号:CN118679277A
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN202380021339.7
申请日:2023-03-07
Applicant: 三菱重工航空发动机株式会社 , 福吉米株式会社 , 东华隆株式会社
Abstract: 一个实施方式的热障涂层的施工方法具备:在形成于对象物的耐热合金基材上的粘结涂层上形成顶涂层的工序。在形成顶涂层的工序中,一边通过以25ml/分以上且100ml/分以下的供给速度向等离子体焰的周围供给水作为冷却流体而将等离子体焰的一部分冷却,一边通过大气压等离子喷镀喷镀包含陶瓷粉末的悬浮液,由此形成顶涂层。
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公开(公告)号:CN107002215B
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201580058324.3
申请日:2015-10-28
Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和由Si构成的第四元素作为构成元素。喷镀用粉末以40摩尔%以下的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.002以上且0.03以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相,或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的峰中强度最大的峰的强度的0.1倍以下。
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公开(公告)号:CN107002217A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580058305.0
申请日:2015-10-28
Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和选自Al和Mg的第四元素作为构成元素,以20摩尔%以上的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.05以上且0.5以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相,或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的最大峰的强度的0.1倍以下。
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公开(公告)号:CN110983227A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201911269195.9
申请日:2017-11-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 福吉米株式会社
Abstract: 本发明涉及喷镀用材料和带喷镀膜的构件。提供能够形成耐等离子体侵蚀性进一步提高了的致密的喷镀膜的喷镀用材料。利用本发明公开的技术,制成下述喷镀用材料,其包含稀土元素(RE)、氧(O)和卤素元素(X)作为构成元素,并且包含稀土元素卤氧化物(RE-O-X)与稀土元素卤化物(REX3)的混晶。
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公开(公告)号:CN115896676A
公开(公告)日:2023-04-04
申请号:CN202211209553.9
申请日:2022-09-30
Applicant: 福吉米株式会社
Abstract: 本发明提供:在形成喷镀膜时不会进行细粉化而发生喷溅现象等、具有耐腐蚀性、耐剥离性等优异的性能、且喷镀膜形成性优异的硅酸钙质喷镀材料。提供一种喷镀用材料,对于硅酸钙质喷镀材料,使用X射线衍射法测定的晶相的衍射强度中,在2θ=30.75~31.35下检测到的β‑Ca2SiO4的单一峰衍射强度与在2θ=20.25~20.85下检测到的γ‑Ca2SiO4的单一峰衍射强度的峰比率(β‑Ca2SiO4/γ‑Ca2SiO4)大于1。
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公开(公告)号:CN108624835B
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN201810225757.9
申请日:2018-03-19
Applicant: 福吉米株式会社
Abstract: 本发明涉及一种喷镀用浆料。提供抑制裂纹的产生、并且能形成致密的喷镀皮膜的喷镀用浆料。喷镀用浆料含有平均粒径为1μm以上且10μm以下的喷镀颗粒和分散有喷镀颗粒的分散介质,通过下述数学式算出的填充率为84质量%以下。下述数学式中的A为通过离心分离法使喷镀用浆料中的喷镀颗粒沉降而形成的喷镀颗粒的滤饼的质量,B为从滤饼中去除滤饼所含有的分散介质而得到的干燥物的质量。填充率(质量%)=B/A×100。
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公开(公告)号:CN119736574A
公开(公告)日:2025-04-01
申请号:CN202411349652.6
申请日:2024-09-26
Applicant: 福吉米株式会社
Abstract: 本发明涉及喷镀用浆料和使用了其的喷镀覆膜的制造方法。提供:使用含有由包含铝的氧化物形成的喷镀颗粒的喷镀用浆料而形成的喷镀覆膜的裂纹的减少成为可能的方案。本发明的一方式涉及一种喷镀用浆料,其含有:由包含铝的氧化物形成的喷镀颗粒和分散介质,前述喷镀用浆料满足式(1),式(1)中,E为前述氧化物的温度25℃下的杨氏模量[单位:GPa],α为前述氧化物的30℃至600℃的温度范围内的线热膨胀系数[单位:ppm/K],D90为前述喷镀颗粒的体积基准累积90%粒径[单位:μm]。(E×α)/D90<130···(1)。
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