公开(公告)号：CN220067252U

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202321550780.8

申请日：2023-06-15

Applicant: 东北大学

Inventor： 王伟霖 ,  杨东升 ,  李浩然 ,  朱叶盛 ,  王昕

IPC: H02N15/00 ,  G01P3/44 ,  G01B11/02 ,  H01F7/00 ,  H05B3/02 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型提供一种基于磁悬浮的晶片加热控制动力装置，涉及磁悬浮技术领域。该控制动力装置具体包括：非磁性真空杜瓦容器、碘钨灯管、排气孔；非磁性真空杜瓦容器开口向下，侧壁上均匀装有加热装置碘钨灯管，并在顶部设有两个排气孔。该控制动力装置还包括外设电路、悬浮组件、磁性组件、测量组件、底板和开关式磁阻电机。在非磁性真空杜瓦容器下端连接磁性组件，磁性组件包括两个霍尔传感器，四个带有线圈的电磁铁，圆环形黑磁铁，PCB底板；磁性组件的下端为开关式磁阻电机，开关式磁阻电机的下端为底板；磁性组件中电磁铁的线圈与外设电路相连接；测量组件包括位移传感器和速度传感器，分别位于磁性组件的两侧。