公开(公告)号：CN1230871C

公开(公告)日：2005-12-07

申请号：CN02802802.3

申请日：2002-09-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 高桥彰 ,  川村和广

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C16/52

Abstract: 热处理装置具有处理容器28和被放置到处理容器28内、多级支撑被处理体W的被处理体舟30。当操作员比如从输入操作部18输入所希望的作业识别记号J1～Jh时，则通过利用该作业识别记号所特定的作业处方，分别从布局存储部16和流程存储部14读出布局程序和流程程序，并按作业处方所表示的时间序列的顺序依次执行这些程序。由此，只选择作业识别记号就可以选择各种布局程序和流程程序的组合。

公开(公告)号：CN1488162A

公开(公告)日：2004-04-07

申请号：CN02802802.3

申请日：2002-09-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 高桥彰 ,  川村和广

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C16/52

Abstract: 热处理装置具有处理容器28和被放置到处理容器28内、多级支撑被处理体W的被处理体舟30。当操作员比如从输入操作部18输入所希望的作业识别记号J1～Jh时，则通过利用该作业识别记号所特定的作业处方，分别从布局存储部16和流程存储部14读出布局程序和流程程序，并按作业处方所表示的时间序列的顺序依次执行这些程序。由此，只选择作业识别记号就可以选择各种布局程序和流程程序的组合。