公开(公告)号：CN101258499A

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN200580048112.3

申请日：2005-12-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 詹姆斯·E·威利斯 ,  麦尔特·凡克 ,  凯文·拉利 ,  凯文·彼恩托 ,  友安昌幸 ,  雷蒙德·彼得森 ,  哈达·桑达哈简

IPC: G06F19/00

CPC classification number: G05B19/4184 ,  G05B2219/31356 ,  G05B2219/32179 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P80/40 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/86

Abstract: 一种用于在APC系统中实现FDC(400)的方法，包括从存储器接收FDC模型(430)；将所述FDC模型(430)提供给处理模型计算引擎(425)；使用所述处理模型(425)计算引擎计算预测的依赖处理参数矢量；接收包括一组配方参数(440)的处理配方，将处理配方提供给处理模块(420)；执行所述处理配方以产生测量的依赖处理参数矢量(445)；计算所述预测的依赖处理参数矢量和所述测量的依赖处理参数矢量之间的差(450)；将所述差和阈值进行比较(455)；以及当所述差大于阈值时宣布故障状态(465)。

公开(公告)号：CN101258499B

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200580048112.3

申请日：2005-12-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 詹姆斯·E·威利斯 ,  麦尔特·凡克 ,  凯文·拉利 ,  凯文·彼恩托 ,  友安昌幸 ,  雷蒙德·彼得森 ,  哈达·桑达哈简

IPC: G05B19/418

CPC classification number: G05B19/4184 ,  G05B2219/31356 ,  G05B2219/32179 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P80/40 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/86

Abstract: 一种用于在APC系统中实现FDC(400)的方法，包括从存储器接收FDC模型(430)；将所述FDC模型(430)提供给处理模型计算引擎(425)；使用所述处理模型(425)计算引擎计算预测的依赖处理参数矢量；接收包括一组配方参数(440)的处理配方，将处理配方提供给处理模块(420)；执行所述处理配方以产生测量的依赖处理参数矢量(445)；计算所述预测的依赖处理参数矢量和所述测量的依赖处理参数矢量之间的差(450)；将所述差和阈值进行比较(455)；以及当所述差大于阈值时宣布故障状态(465)。