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公开(公告)号：CN114582695A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202111392699.7
申请日：2021-11-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种腔室状况的诊断方法，是用于诊断腔室的状况的技术。一种腔室状况的诊断方法，用于诊断对产品基板进行处理的基板处理装置的腔室的状况，所述腔室状况的诊断方法包括以下工序：清洁所述腔室的内部；在所述腔室的内部生成氦气或者在氦气中混合不包含氩气的一种以上的非活性气体所得到的气体的等离子体；测定所述腔室的内部的氟的发光强度；以及基于所述发光强度来诊断所述腔室的状况。
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公开(公告)号：CN1680800A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200510063258.7
申请日：2005-04-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种粒子监视装置，其具备：发出测量光的光源；和连接到所述减压容器上，向所述减压容器内投射所发的测量光而且接受来自在所述减压容器内浮游着的粒子的散射光的光投射接收单元。所述光投射接收单元被配置为与所述测量光大体上平行地接受所述散射光。该粒子监视装置还具备检测所述光投射接收单元所接受到的散射光的强度的接收光强度检测单元。所述接收光强度检测单元包括：判别所述所检测到的强度是否比规定值大的接收光强度判别部件；和根据该判别结果对所述处理装置发出所述处理装置的处理动作的开始、继续或停止的指令的指示部件。
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公开(公告)号：CN100507511C
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200510063258.7
申请日：2005-04-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种粒子监视装置，其具备：发出测量光的光源；和连接到所述减压容器上，向所述减压容器内投射所发的测量光而且接受来自在所述减压容器内浮游着的粒子的散射光的光投射接收单元。所述光投射接收单元被配置为与所述测量光大体上平行地接受所述散射光。该粒子监视装置还具备检测所述光投射接收单元所接受到的散射光的强度的接收光强度检测单元。所述接收光强度检测单元包括：判别所述所检测到的强度是否比规定值大的接收光强度判别部件；和根据该判别结果对所述处理装置发出所述处理装置的处理动作的开始、继续或停止的指令的指示部件。
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