公开(公告)号：CN103049008B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201210384397.X

申请日：2012-10-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 冈部庸之 ,  守谷修司 ,  松野一成

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/68 ,  G01F5/00 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/8158

Abstract: 本发明提供一种流量控制装置以及处理装置。在控制流向气体通路的气体流量的流量控制装置中，具备：主气体管；检测流向该主气体管的气体的流量，输出流量信号的流量检测单元；控制流量的流量控制阀机构；存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据的换算数据存储部；基于从外部输入的气体种类选择信号，从多个换算数据中选择对应的换算数据，并且基于流量指示信号求出上述目标流量，并基于目标流量与流量信号控制流量控制阀机构的流量控制主体。

公开(公告)号：CN103049008A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201210384397.X

申请日：2012-10-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 冈部庸之 ,  守谷修司 ,  松野一成

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/68 ,  G01F5/00 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/8158

Abstract: 本发明提供一种流量控制装置以及处理装置。在控制流向气体通路的气体流量的流量控制装置中，具备：主气体管；检测流向该主气体管的气体的流量，输出流量信号的流量检测单元；控制流量的流量控制阀机构；存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据的换算数据存储部；基于从外部输入的气体种类选择信号，从多个换算数据中选择对应的换算数据，并且基于流量指示信号求出上述目标流量，并基于目标流量与流量信号控制流量控制阀机构的流量控制主体。