公开(公告)号：CN105379428B

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201480038871.0

申请日：2014-07-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 丸山幸儿 ,  堀口将人 ,  松木哲理 ,  舆石公

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32165 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32816 ,  H01J2237/332 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/02104 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67069

Abstract: 等离子体处理装置包括：形成有使内部空间与处理空间连通的连通孔的电介质部件；隔着内部空间的第一电极和第二电极；将第一处理气体供给到内部空间的第一气体供给机构；第一高频电源，其将第一高频电力供给到第一电极和第二电极中的至少任一者，生成第一处理气体的第一等离子体；减压机构，其将第一等离子体中的自由基和第一处理气体导入至处理空间；第二高频电源，其供给第二高频电力，生成第一处理气体的第二等离子体，并将离子引入至被处理体；和控制部，其控制第一高频电力的全部电功率的大小，调整第二等离子体中的自由基量，控制第一高频电力的比率，调整第二等离子体中的离子量。

公开(公告)号：CN105379428A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201480038871.0

申请日：2014-07-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 丸山幸儿 ,  堀口将人 ,  松木哲理 ,  舆石公

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32165 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32816 ,  H01J2237/332 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/02104 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67069

Abstract: 等离子体处理装置包括：形成有使内部空间与处理空间连通的连通孔的电介质部件；隔着内部空间的第一电极和第二电极；将第一处理气体供给到内部空间的第一气体供给机构；第一高频电源，其将第一高频电力供给到第一电极和第二电极中的至少任一者，生成第一处理气体的第一等离子体；减压机构，其将第一等离子体中的自由基和第一处理气体导入至处理空间；第二高频电源，其供给第二高频电力，生成第一处理气体的第二等离子体，并将离子引入至被处理体；和控制部，其控制第一高频电力的全部电功率的大小，调整第二等离子体中的自由基量，控制第一高频电力的比率，调整第二等离子体中的离子量。