公开(公告)号：CN1998272A

公开(公告)日：2007-07-11

申请号：CN200580020964.1

申请日：2005-06-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 斧高一 ,  上坂裕之 ,  石桥清隆 ,  泽田郁夫

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/511 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01J37/32192 ,  H01J37/3222 ,  H05H1/46

Abstract: 在平面天线部件(3)上由多个同心圆形成环状的槽口(300～304)，将中心部的导体(310、311)的厚度形成为相对的薄，将周边部的导体(312～315)的厚度形成为相对的厚，由此，微波不衰减，易于通过槽口(300～304)，能够得到均匀的电场分布，能够在处理空间内平均地产生均匀的高密度的等离子体，所以能够使被处理体接近天线部件(3)，可以高速且均匀地处理被处理体。