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公开(公告)号：CN111987241A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010390887.5
申请日：2020-05-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置，其使基片上的溶液在减压状态下干燥，溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，减压干燥装置具有收纳基片的容器，在容器内具有：用于载置基片的载置台；溶剂收集部，其暂时收集从载置于载置台上的基片气化了的溶液中的溶剂；和使溶剂收集部在上下方向上移动的移动机构，容器在载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设置有排气口，该排气口与用于对该容器的内部进行排气的排气装置连接，溶剂收集部设置在俯视时比载置于载置台上的基片靠外侧的位置，且在比基片靠外侧的位置通过移动机构而在上下方向上移动。根据本发明，能够使包含沸点相互不同的多种溶剂的溶液的干燥时间在基片的面内均匀。
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