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公开(公告)号：CN101802977B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200880107512.0
申请日：2008-12-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , C23C16/44 , H01L21/205
CPC classification number: G05B19/4148 , G05B2219/31418 , G05B2219/34306 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , Y02P70/163 , Y02P70/605
Abstract: 本发明提供一种被处理体处理系统及其控制方法。该被处理体处理系统是对被处理体进行规定处理的处理系统，其特征在于，具备对被处理体进行处理的一个或多个处理装置以及对上述处理装置进行控制的控制器，上述控制器构成为在该控制器的电源被切断时能够将构成上述处理装置的多个终端装置选择性地控制成全部停止的停止状态或一部分或全部处于准备对被处理体进行处理的待机状态中的任一种状态。
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公开(公告)号：CN101802977A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200880107512.0
申请日：2008-12-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , C23C16/44 , H01L21/205
CPC classification number: G05B19/4148 , G05B2219/31418 , G05B2219/34306 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , Y02P70/163 , Y02P70/605
Abstract: 本发明提供一种被处理体处理系统及其控制方法。该被处理体处理系统是对被处理体进行规定处理的处理系统，其特征在于，具备对被处理体进行处理的一个或多个处理装置以及对上述处理装置进行控制的控制器，上述控制器构成为在该控制器的电源被切断时能够将构成上述处理装置的多个终端装置选择性地控制成全部停止的停止状态或一部分或全部处于准备对被处理体进行处理的待机状态中的任一种状态。
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公开(公告)号：CN101107613A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200680003010.4
申请日：2006-12-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 志岐启一郎
CPC classification number: G06F21/12 , G06F21/10 , G06F2221/2135 , G06F2221/2137
Abstract: 本发明提供一种根据基于软件的控制对基板进行处理的基板处理装置，包括：许可信息接收单元，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收上述软件的许可信息；许可信息解析单元，从上述许可信息取出上述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和许可判定单元，将从上述许可信息取出的上述地址信息与预先保存在该基板处理装置中的上述许可信息提供装置的上述地址信息进行比较。在两个上述地址信息值不一致的情况下，限制上述软件的至少一部分功能的执行。由此，能够妥当地防止在基板处理装置中工作的软件的不正当使用。
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