公开(公告)号：CN1275701C

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN02154348.8

申请日：2002-11-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 北野高广 ,  古闲法久 ,  武井利亲 ,  川渊义行

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/02

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05B13/041 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/1013

Abstract: 一种基片由可沿Y方向自由移动的基片固定部分(23)水平固定，在基片上方设有对着基片的喷嘴部分(5)，喷嘴部分(5)可沿对应于基片上涂层液体供给区域的X方向移动。排出口设在喷嘴部分(5)的下端，在排出口内设有将排出口(54)与连接到喷嘴部分上端的涂层液体输送管(61)相连的管道。在所述管道的中游设有直径大于排出口的液池部分，其内部设有由阻塞所述管道的多孔体构成的过滤件(71)。所述过滤件(71)形成压降部分，使涂层液体输送管中产生的脉动在到达排出口之前被吸收。

公开(公告)号：CN1421281A

公开(公告)日：2003-06-04

申请号：CN02154348.8

申请日：2002-11-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 北野高广 ,  古闲法久 ,  武井利亲 ,  川渊义行

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/02

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05B13/041 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/1013

Abstract: 一种基片由可沿Y方向自由移动的基片固定部分(23)水平固定，在基片上方设有对着基片的喷嘴部分(5)，喷嘴部分(5)可沿对应于基片上涂层液体供给区域的X方向移动。排出口设在喷嘴部分(5)的下端，在排出口内设有将排出口(54)与连接到喷嘴部分上端的涂层液体输送管(61)相连的管道。在所述管道的中游设有直径大于排出口的液池部分，其内部设有由阻塞所述管道的多孔体构成的过滤件(71)。所述过滤件(71)形成压降部分，使涂层液体输送管中产生的脉动在到达排出口之前被吸收。