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公开(公告)号：CN102856145A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210228415.5
申请日：2012-07-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/21 , C01B33/021
Abstract: 本发明提供一种硅制部件的制造方法和蚀刻处理装置用的硅制部件，其恰当地选择使用在蚀刻处理装置用的硅制部件中的废弃硅材料。该硅制部件的制造方法为对配置于蚀刻处理装置内的硅制部件进行由废弃硅材料再生利用而制造的蚀刻处理装置（10）用的硅制部件的制造方法，该硅制部件的制造方法的特征在于，包含：将上述废弃硅材料或含该废弃硅材料的材料投入到坩埚（55）进行熔化的工序；冷却并凝固上述已熔化的材料的工序；将包含上述凝固后的材料的至少上表面的部分切除，生成多晶硅的工序；和由上述生成的多晶硅制造上述硅制部件的工序。
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