-
公开(公告)号：CN103247564A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310048165.1
申请日：2013-02-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种能够在相对于载物台搬入搬出被处理基板时能够稳定保持基板、防止基板的位置错位的基板处理装置和基板处理方法。该基板处理装置具备：能够载置被处理基板（G）的载物台（11）；能够升降地设置于上述载置台的周围、在上升位置向上述载物台的上方突出支承上述被处理基板的周缘部的多个支承销（16）；和使上述多个支承销升降移动的支承销升降机构（17），在上述多个支承销的上升位置，分别设置于上述载物台的至少一对相对的边侧的上述多个支承销，沿着上述载物台的边配置为支承位置的高度凹凸不同。
Search Results
1
records
(took 0.016 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
