公开(公告)号：CN1787170A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200510130387.3

申请日：2005-12-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 水泽兼悦 ,  伊藤惠贵 ,  伊藤昌秀

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/3213 ,  C23F4/00

Abstract: 在气体供给装置(100)上设置具有多个气体供给源的第一气体箱(111)和具有多个附加气体供给源的第二气体箱(113)。各气体供给源连接有混合管道(120)，混合管道(120)连接有通过不同缓冲室(63a、63b)的分支管道(122、123)。分支管道中分别设有压力调整部，由压力比控制部(126)调整压力比。在分支管道(123)的压力调整部下游侧连接有通过第二气体箱(113)的附加气体供给管道(130)。第一气体箱(111)的各气体由混合管道(120)混合，由分支管道分流，供给到各缓冲室。分支管道(123)上附加有第二气体箱(113)的附加气体，向缓冲室(63b)供给与缓冲室(63a)不同的混合气体。由此由简单管道结构向处理容器的多处供给任意的混合气体。

公开(公告)号：CN100390933C

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200510130387.3

申请日：2005-12-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 水泽兼悦 ,  伊藤惠贵 ,  伊藤昌秀

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/3213 ,  C23F4/00

Abstract: 在气体供给装置(100)上设置具有多个气体供给源的第一气体箱(111)和具有多个附加气体供给源的第二气体箱(113)。各气体供给源连接有混合管道(120)，混合管道(120)连接有通过不同缓冲室(63a、63b)的分支管道(122、123)。分支管道中分别设有压力调整部，由压力比控制部(126)调整压力比。在分支管道(123)的压力调整部下游侧连接有通过第二气体箱(113)的附加气体供给管道(130)。第一气体箱(111)的各气体由混合管道(120)混合，由分支管道分流，供给到各缓冲室。分支管道(123)上附加有第二气体箱(113)的附加气体，向缓冲室(63b)供给与缓冲室(63a)不同的混合气体。由此由简单管道结构向处理容器的多处供给任意的混合气体。