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公开(公告)号：CN116960038A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310406115.X
申请日：2023-04-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供能够在包括能够利用磁力进行移动的多个输送体的基片输送装置中使用的输送体的路径设定系统中，减轻操作者的设定负担的路径设定系统、路径设定方法和软件。本发明的路径设定系统为在包括基片输送区域和多个输送体的基片输送装置中使用的各个所述输送体的路径设定系统，各个所述输送体包括用于支承基片的支承部、并且能够利用磁力从形成所述基片输送区域的底板浮起并移动，所述路径设定系统的特征在于，包括：虚拟区域设定部，其用于设定与所述基片输送区域对应的虚拟区域；路径生成部，其用于在所述虚拟区域中，对每个所述输送体生成从移动开始位置到移动结束位置的移动路径；和干扰判断部，其用于进行关于所述移动路径的干扰的判断。
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