公开(公告)号：CN101903284B

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN200880109471.9

申请日：2008-09-25

申请人： 东京应化工业株式会社

发明人： 中川孝治 ,  室井雅昭 ,  鸟越伸一 ,  长池史浩 ,  中村亮平 ,  东健一 ,  合田刚志

IPC分类号： B67C3/28 ,  H01L21/027

CPC分类号： B01D37/00

摘要： 本发明提供一种减小过滤抗蚀剂液的过滤器14前后压力变动的填充装置。该装置具备：存积有抗蚀剂液的填充液罐2、通过供给泵10将从该填充液罐2送出的抗蚀剂液输送至填充喷嘴8的填充液通路4、从填充液通路4中途的分支部18分支出并连通至填充液罐2的回收通路16、设置在比填充液通路4的分支部18更下游侧(填充液通路4的下游部4B)的填充阀12、设置在回收通路16上的回收阀20、设置在上述泵10和分支部18之间的过滤器14、分别驱动填充阀12和回收阀20的伺服电机、控制伺服电机以调整填充阀12和回收阀20的开度的控制装置24；并且该装置控制回收阀20的开度，以使过滤器14的上游侧和下游侧的压力不变动。

公开(公告)号：CN101903284A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200880109471.9

申请日：2008-09-25

申请人： 东京应化工业株式会社

发明人： 中川孝治 ,  室井雅昭 ,  鸟越伸一 ,  长池史浩 ,  中村亮平 ,  东健一 ,  合田刚志

IPC分类号： B67C3/28 ,  H01L21/027

CPC分类号： B01D37/00

摘要： 本发明提供一种减小过滤抗蚀剂液的过滤器14前后压力变动的填充装置。该装置具备：存积有抗蚀剂液的填充液罐2、通过供给泵10将从该填充液罐2送出的抗蚀剂液输送至填充喷嘴8的填充液通路4、从填充液通路4中途的分支部18分支出并连通至填充液罐2的回收通路16、设置在比填充液通路4的分支部18更下游侧(填充液通路4的下游部4B)的填充阀12、设置在回收通路16上的回收阀20、设置在上述泵10和分支部18之间的过滤器14、分别驱动填充阀12和回收阀20的伺服电机、控制伺服电机以调整填充阀12和回收阀20的开度的控制装置24；并且该装置控制回收阀20的开度，以使过滤器14的上游侧和下游侧的压力不变动。