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发明公开
抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法审中-实审

公开(公告)号：CN112946998A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202011423839.8

申请日：2020-12-08

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平野智之 , 平山文武 , 野村架奈 , 河野绅一 , 中川裕介

IPC: G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，含有树脂成分(A1)与增塑剂成分(Z)，树脂成分(A1)具有包含酸分解性基团的结构单元(a1)、以式(a10‑1)表示的结构单元(a10)，增塑剂成分(Z)具有以式(z1‑1)表示的结构单元(z1)且不含酸解离性基团，增塑剂成分(Z)的含量相对于树脂成分(A1)100质量份为50质量份以下，固体成分浓度为25质量％以上。式中，Wax1是芳香族烃基。Vz0是单键或不含酸解离性基团的2价烃基。Rz0是氢原子或不含酸解离性基团的烃基。[化1]

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