公开(公告)号：CN112882341A

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202011348383.3

申请日：2020-11-26

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平山文武 ,  平野智之 ,  吉田裕三 ,  河野绅一 ,  中川裕介

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，含有：对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)；与离子液体(Z)，所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量％以上。

公开(公告)号：CN116670585A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202180087260.5

申请日：2021-12-24

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 平山文武 ,  平野智之 ,  吉田裕三 ,  河野绅一 ,  中川裕介

IPC: G03F7/004

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，包含：树脂成分(A1)，具有包含酚性羟基的结构单元(a10)；化合物(B0)，以通式(b0‑1)表示，所述树脂成分(A1)中的所述结构单元(a10)的比例相对于构成所述树脂成分(A1)的全部结构单元的合计(100摩尔％)为超过5摩尔％～小于45摩尔％，式中，Rb1为碳原子数为1以上30以下的烃基，n、m为0～3的整数，Ra1及Ra2为氢原子或有机基团，Q1及Q2为氟原子或碳原子数为1以上6以下的全氟烷基，L为酯键。