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公开(公告)号:CN117957494A
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN202280062985.3
申请日:2022-09-13
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/075 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F290/12 , G02F1/1335 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/038 , G09F9/30 , H01L33/00 , H01L33/50 , H05B33/02 , H05B33/12 , H05B33/22 , H10K50/00 , H10K59/00
Abstract: 本发明以提供在高曝光量加工时也能够如光掩模的设计线宽那样形成兼有预烘烤后的膜的无粘性、与熟化后的耐热性的厚膜间隔壁的树脂组合物作为目的。本发明的目的可以通过下述树脂组合物来实现,上述树脂组合物含有光自由基引发剂、受阻酚化合物和/或受阻胺化合物、包含特定的结构的聚硅氧烷、以及包含特定的结构的(甲基)丙烯酸系聚合物和/或包含特定的结构的cardo系聚合物,上述聚硅氧烷的重量与(甲基)丙烯酸系聚合物和cardo系聚合物的合计重量之比为30/70~70/30。
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公开(公告)号:CN117858927A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202280057280.2
申请日:2022-09-15
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C09D183/04 , C08F290/14 , C08G77/08 , C08K5/19 , C08K5/42 , C08K5/52 , C08L83/04 , G03F7/075
Abstract: 本发明的目的是以较低的价格提供一种固化膜形成用硅氧烷树脂组合物,其可获得保存稳定性优异、耐溶剂性优异的固化膜。另外,即便无催化剂的去除步骤,也制造保存稳定性良好的聚硅氧烷。本发明的固化膜形成用硅氧烷树脂组合物,是含有聚硅氧烷、有机盐和溶剂的树脂组合物,所述有机盐的1.0质量%水溶液的pH值为3.0~5.5。另外,本发明的聚硅氧烷的制造方法,其特征在于,是使用烷氧基硅烷化合物作为原料,且使用有机盐作为水解和/或热缩合的催化剂来制造聚硅氧烷的方法,所述有机盐的1.0质量%水溶液的pH值为3.0~5.5。
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公开(公告)号:CN112368336A
公开(公告)日:2021-02-12
申请号:CN201980040304.1
申请日:2019-08-22
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 提供低折射率、耐热性、耐化学药品性、涂布性优异、并且图案加工性优异的树脂组合物。树脂组合物,其特征在于,含有(A)聚硅氧烷、(B)溶剂,前述(A)聚硅氧烷包含特定的通式(1)~(3)中任一者所示的结构及特定的下述通式(4)或(5)中任一者所示的结构。
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公开(公告)号:CN107001799B
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN201680004200.1
申请日:2016-01-20
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08L83/04 , C08G77/14 , C08G77/24 , C08K3/36 , C08K5/07 , C08K5/10 , C08K5/17 , G02B1/111 , H01L27/14 , H04N5/369
Abstract: 本发明提供一种树脂组合物,其特征在于,所述树脂组合物包含(a)溶剂、(b)二氧化硅粒子、(c)聚硅氧烷及(d)仲胺或叔胺化合物,且(a)溶剂包含有机酸。本发明提供一种即使在透镜形状等具有凹凸的基底上也能简便地得到均匀的膜、且保存稳定性也良好的树脂组合物。
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公开(公告)号:CN107001799A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201680004200.1
申请日:2016-01-20
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08L83/04 , C08G77/14 , C08G77/24 , C08K3/36 , C08K5/07 , C08K5/10 , C08K5/17 , G02B1/111 , H01L27/14 , H04N5/369
Abstract: 本发明提供一种树脂组合物,其特征在于,所述树脂组合物包含(a)溶剂、(b)二氧化硅粒子、(c)聚硅氧烷及(d)仲胺或叔胺化合物,且(a)溶剂包含有机酸。本发明提供一种即使在透镜形状等具有凹凸的基底上也能简便地得到均匀的膜、且保存稳定性也良好的树脂组合物。
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