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公开(公告)号：CN103402706B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201280009419.2
申请日：2012-01-30
IPC: B24B37/24 , D06N3/14 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/24 , D06N3/0004 , D06N3/14 , D06N2205/24
Abstract: 本发明提供一种适于精加工用的研磨垫，所述研磨垫用于在硅裸晶片、玻璃、化合物半导体基板及硬盘基板等中形成良好的镜面，所述研磨垫在研磨时被镜面研磨面的划痕·颗粒等缺陷少，而且被镜面研磨面的处理片数多。本发明的研磨垫是在研磨垫用基材上形成利用湿式凝固法得到的以聚氨酯作为主要成分的多孔质聚氨酯层而得到的，所述研磨垫用基材是在由平均单纤维直径为3.0μm以上、且8.0μm以下的极细纤维束形成的无纺布中含浸聚氨酯类弹性体得到的，所述聚氨酯类弹性体相对于研磨垫用基材为20质量％以上、且50质量％以下，所述多孔质聚氨酯层为研磨表面层，具有平均开口直径为10μm以上、且90μm以下的开口，所述研磨垫的压缩弹性模量为0.17MPa以上、且0.32MPa以下。
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公开(公告)号：CN1197407A
公开(公告)日：1998-10-28
申请号：CN96197202.5
申请日：1996-05-31
Applicant: 东丽株式会社
IPC: B01D39/08 , B01D33/044 , B01D33/23 , B01D33/44 , B01D33/80
Abstract: 一种滤布包括至少一底层和一过滤层,其特征在于,过滤层的厚度(T)对构成过滤层的纤维束的纤维长度(L)的比T/L是0.02到0.7,和纤维在底层表面上的投影面积总和是底面表面积的8到350倍,一种滤布,特征是由至少一底层和一过滤层组成,过滤层主要由纤维卷曲比大于5%的纤维束构成。还有,一种带式固—液分离机其特征是由如下至少一种机构构成,一在许多辊上装设本发明的滤布并使滤布围绕它们运动的机构,一将未经过滤的水供给到倾斜的带上的机构,一用于从带的后表面吸入供给的未经过滤的水的机构,一对滤饼加压使带上形成的滤饼脱水的机构,一刮落脱水的滤饼的机构和一用来清洗该带的机构。此外,一种过滤机其特征是由如下至少一种机构构成,一围绕鼓或盘状的结构部件装设本发明的滤布将其分隔成内部和外部的机构,一将未经过滤的水供给到分隔的外部或内部并使该未经过滤水通过该滤布的机构,一从未经过滤的水供给侧和/或另一侧清洗该滤布的机构和一用于排放由清洗产生的浓缩水的机构。
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公开(公告)号：CN1079685C
公开(公告)日：2002-02-27
申请号：CN96197202.5
申请日：1996-05-31
Applicant: 东丽株式会社
IPC: B01D39/08 , B01D33/044 , B01D33/23 , B01D33/44 , B01D33/80
Abstract: 一种滤布包括至少一底层和一过滤层，其特征在于，过滤层的厚度(T)对构成过滤层的纤维束的纤维长度( L)的比T/L是0.02到0.7，和纤维在底层表面上的投影面积总和是底面表面积的8到350倍。还有。一种带式固一液分离机其特征是由如下至少一种机构构成，一在许多辊上装设本发明的滤布并使滤布围绕它们运动的机构，一将未经过滤的水供给到倾斜的带上的机构，一用于从带的后表面吸入供给的未经过滤的水的机构，一对滤饼加压使带上形成的滤饼脱水的机构，一刮落脱水的滤饼的机构和一用来清洗该带的机构。此外，一种过滤机其特征是由如下至少一种机构构成，一围绕鼓或盘状的结构部件装设本发明的滤布将其分隔成内部和外部的机构，一将未经过滤的水供给到分隔的外部或内部并使该未经过滤水通过该滤布的机构，一从未经过滤的水供给侧和/或另一侧清洗该滤布的机构和一用于排放由清洗产生的浓缩水的机构。
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公开(公告)号：CN103402706A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201280009419.2
申请日：2012-01-30
IPC: B24B37/24 , D06N3/14 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/24 , D06N3/0004 , D06N3/14 , D06N2205/24
Abstract: 本发明提供一种适于精加工用的研磨垫，所述研磨垫用于在硅裸晶片、玻璃、化合物半导体基板及硬盘基板等中形成良好的镜面，所述研磨垫在研磨时被镜面研磨面的划痕·颗粒等缺陷少，而且被镜面研磨面的处理片数多。本发明的研磨垫是在研磨垫用基材上形成利用湿式凝固法得到的以聚氨酯作为主要成分的多孔质聚氨酯层而得到的，所述研磨垫用基材是在由平均单纤维直径为3.0μm以上、且8.0μm以下的极细纤维束形成的无纺布中含浸聚氨酯类弹性体得到的，所述聚氨酯类弹性体相对于研磨垫用基材为20质量％以上、且50质量％以下，所述多孔质聚氨酯层为研磨表面层，具有平均开口直径为10μm以上、且90μm以下的开口，所述研磨垫的压缩弹性模量为0.17MPa以上、且0.32MPa以下。
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