公开(公告)号：CN111587395A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201880085224.3

申请日：2018-12-26

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 村田浩之 ,  大久保宪治 ,  石川直道

IPC: G02B27/48 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66 ,  H01S3/10 ,  G03B21/14

Abstract: 本发明的目的在于提供激光光源装置，其使用高输出激光并且寿命长且使散斑噪声降低。本发明是射出激光的激光光源装置(1)，其中，该激光光源装置(1)具有：光束分支部(3)，其将从激光光源部(2)射出的光束(L0)分支成第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)；以及光束合成部(5)，其对第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)进行合成，与第1分支光束(L1)的光路长度相比，第2分支光束(L2)的光路长度设定得较长，在第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)的光路中具有扩散板(41、42、43)。

公开(公告)号：CN111587395B

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN201880085224.3

申请日：2018-12-26

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 村田浩之 ,  大久保宪治 ,  石川直道

IPC: G02B27/48 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66 ,  H01S3/10 ,  G03B21/14

Abstract: 本发明的目的在于提供激光光源装置，其使用高输出激光并且寿命长且使散斑噪声降低。本发明是射出激光的激光光源装置(1)，其中，该激光光源装置(1)具有：光束分支部(3)，其将从激光光源部(2)射出的光束(L0)分支成第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)；以及光束合成部(5)，其对第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)进行合成，与第1分支光束(L1)的光路长度相比，第2分支光束(L2)的光路长度设定得较长，在第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)的光路中具有扩散板(41、42、43)。