涂布方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106413915B

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201580027268.7

    申请日:2015-03-10

    Abstract: 提供一种涂布装置(1)以及涂布方法,并且提供制造显示器用部件的方法,其中,该涂布装置(1)以及涂布方法除了在涂布开始区域进行来自喷嘴(5)的涂布液(2)的定流量排出之外,还能够瞬时对液滴形成所需要的量的涂布液(2)进行剩余排出。具体来说,具有排出涂布液(2)的喷嘴(5)、使喷嘴(5)与被涂布部件(W)相对地移动的移动单元(8)、向喷嘴(5)提供涂布液(2)的提供单元(10)、以及进行喷嘴(5)内的涂布液(2)的抽吸的减压单元(40),上述提供单元(10)具有:第1提供单元(61),其包含以恒定的流量向喷嘴(5)送出涂布液(2)的送液器(12);以及第2提供单元(62),其具有储罐(13)以及加压单元(14),该储罐(13)储存涂布液(2)并且经由流路(11)与喷嘴(5)连接,该加压单元(14)对储罐(13)的涂布液(2)进行加压并向喷嘴(5)送出涂布液(2)。

    涂布装置、涂布方法以及显示器用部件的制造方法

    公开(公告)号:CN106413915A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201580027268.7

    申请日:2015-03-10

    Abstract: 提供一种涂布装置(1)以及涂布方法,并且提供制造显示器用部件的方法,其中,该涂布装置(1)以及涂布方法除了在涂布开始区域进行来自喷嘴(5)的涂布液(2)的定流量排出之外,还能够瞬时对液滴形成所需要的量的涂布液(2)进行剩余排出。具体来说,具有排出涂布液(2)的喷嘴移动单元(8)、向喷嘴(5)提供涂布液(2)的提供单元(10)、以及进行喷嘴(5)内的涂布液(2)的抽吸的减压单元(40),上述提供单元(10)具有:第1提供单元(61),其包含以恒定的流量向喷嘴(5)送出涂布液(2)的送液器(12);以及第2提供单元(62),其具有储罐(13)以及加压单元(14),该储罐(13)储存涂布液(2)并且经由流路(11)与喷嘴(5)连接,该加压单元(14)对储罐(13)的涂布液(2)进行加压并向喷嘴(5)送出涂布液(2)。(5)、使喷嘴(5)与被涂布部件(W)相对地移动的

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