公开(公告)号：CN111093838A

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201880057925.6

申请日：2018-10-01

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 渡边敦 ,  横井健太 ,  上田胜彦

IPC: B05C11/10 ,  B05C5/02

Abstract: 提供间歇涂布装置，即使提高涂布速度，也能够实现涂布开始端部的涂布膜的膜厚的均匀化。具体而言，本发明的间歇涂布装置(1)具有：提供部(10)，其提供涂液(20)；涂布部(15)，其将从提供部提供的涂液经由提供路(21)而涂布至基材(30)的表面上；提供阀(12)，其具有对提供路进行开闭的阀芯(42)；以及驱动部，其对阀芯进行驱动，驱动部由第1气缸(13)和第2气缸(14)构成，第1气缸通过与阀芯连结的第1活塞(52)的往复动作而对阀芯的开闭进行控制，第2气缸将与阀芯连结的第2活塞(62)向第1活塞将阀芯关闭的方向进行驱动。

公开(公告)号：CN111093838B

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN201880057925.6

申请日：2018-10-01

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 渡边敦 ,  横井健太 ,  上田胜彦

IPC: B05C11/10 ,  B05C5/02

Abstract: 提供间歇涂布装置，即使提高涂布速度，也能够实现涂布开始端部的涂布膜的膜厚的均匀化。具体而言，本发明的间歇涂布装置(1)具有：提供部(10)，其提供涂液(20)；涂布部(15)，其将从提供部提供的涂液经由提供路(21)而涂布至基材(30)的表面上；提供阀(12)，其具有对提供路进行开闭的阀芯(42)；以及驱动部，其对阀芯进行驱动，驱动部由第1气缸(13)和第2气缸(14)构成，第1气缸通过与阀芯连结的第1活塞(52)的往复动作而对阀芯的开闭进行控制，第2气缸将与阀芯连结的第2活塞(62)向第1活塞将阀芯关闭的方向进行驱动。