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公开(公告)号：CN105987433A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201510080919.0
申请日：2015-02-13
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 武汉华星光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种空气处理系统，包括洁净室，分别位于其上方和下方的上夹层和下夹层及回风竖井；洁净室内包括设备围挡，设备围挡围成的空间用于容纳工作中会散发化学物质污染物的设备；下夹层和洁净室通过带回风口的隔板系统隔开；下夹层内包括自下夹层的顶部延伸至底部的下层围挡，设备围挡内的空气可通过隔板系统的回风口进入下层围挡内；位于下夹层内的化学物质污染物处理装置，其通过管道与下层围挡围成的空间相连通；经化学物质污染物处理装置处理后的空气可经回风竖井进入上夹层。本发明解决了洁净室内循环空气全部经过化学物质污染物处理装置处理，导致的需要处理的空气的量巨大，处理效率低的技术问题。
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公开(公告)号：CN105987433B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201510080919.0
申请日：2015-02-13
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 武汉华星光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种空气处理系统，包括洁净室，分别位于其上方和下方的上夹层和下夹层及回风竖井；洁净室内包括设备围挡，设备围挡围成的空间用于容纳工作中会散发化学物质污染物的设备；下夹层和洁净室通过带回风口的隔板系统隔开；下夹层内包括自下夹层的顶部延伸至底部的下层围挡，设备围挡内的空气可通过隔板系统的回风口进入下层围挡内；位于下夹层内的化学物质污染物处理装置，其通过管道与下层围挡围成的空间相连通；经化学物质污染物处理装置处理后的空气可经回风竖井进入上夹层。本发明解决了洁净室内循环空气全部经过化学物质污染物处理装置处理，导致的需要处理的空气的量巨大，处理效率低的技术问题。
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公开(公告)号：CN204460465U
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201420871444.8
申请日：2014-12-31
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 武汉华星光电技术有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种空气处理系统，包括洁净室，分别位于其上方和下方的上夹层和下夹层及回风竖井；洁净室内可放置工作中会散发化学物质污染物的设备；下夹层和洁净室通过带回风口的隔板系统隔开；下夹层内包括自下夹层的顶部延伸至底部的下层围挡且下层围挡位于用于放置会散发化学物质污染物的设备的区域的下方，洁净室内的空气可通过隔板系统的回风口进入下层围挡内；位于下夹层内的化学物质污染物处理装置，其通过管道与下层围挡围成的空间相连通；经化学物质污染物处理装置处理后的空气可经回风竖井进入上夹层。本实用新型解决了洁净室内循环空气全部经过化学物质污染物处理装置处理，导致的需要处理的空气的量巨大，处理效率低的技术问题。
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公开(公告)号：CN204611947U
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201420871443.3
申请日：2014-12-31
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 武汉华星光电技术有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种空气处理系统，包括洁净室，上夹层和下夹层及回风竖井；洁净室内可放置会散发化学物质污染物的设备；下夹层和洁净室通过带回风口的隔板系统隔开；下夹层内包括位于用于放置会散发化学物质污染物的设备的区域的下方的容纳室，容纳室包括自下夹层的顶部向下延伸的下层围挡和位于下层围挡底端的容纳室底板，洁净室内的空气可通过隔板系统的回风口进入下层围挡内；位于容纳室底板下方的化学物质污染物处理装置，其通过管道与的空间相连通；经化学物质污染物处理装置处理后的空气可经回风竖井进入上夹层。本实用新型解决洁净室内循环空气全部经过化学物质污染物处理装置处理，导致的需要处理的空气的量巨大，效率低的技术问题。
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公开(公告)号：CN204460520U
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201420872104.7
申请日：2014-12-31
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 武汉华星光电技术有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种空气处理机组，该空气处理机组包括：具有水平入风口及水平出风口的机壳，设置在所述机壳内入风口处的第一化学过滤器、设置在所述机壳内出风口处的中效或高中效过滤器以及位于在机壳内并沿进风方向依次设置的第二化学过滤器及风机组件。在上述技术方案中，化学过滤器、风机组件及中效或高中效过滤器依次装设在同一机壳内，即空气处理机组自带风机，使得化学过滤器、可以采用较厚的吸附剂层，从而延长了化学过滤器的使用寿命，进而提高了空气处理机组连续工作的时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN204460472U
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201520109365.8
申请日：2015-02-13
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 武汉华星光电技术有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种空气处理系统，包括洁净室，分别位于其上方和下方的上夹层和下夹层及回风竖井；洁净室内包括设备围挡，设备围挡围成的空间用于容纳工作中会散发化学物质污染物的设备；下夹层和洁净室通过带回风口的隔板系统隔开；下夹层内包括自下夹层的顶部延伸至底部的下层围挡，设备围挡内的空气可通过隔板系统的回风口进入下层围挡内；位于下夹层内的化学物质污染物处理装置，其通过管道与下层围挡围成的空间相连通；经化学物质污染物处理装置处理后的空气可经回风竖井进入上夹层。本实用新型解决了洁净室内循环空气全部经过化学物质污染物处理装置处理，导致的需要处理的空气的量巨大，处理效率低的技术问题。
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公开(公告)号：CN204460482U
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201420871511.6
申请日：2014-12-31
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 武汉华星光电技术有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种空气处理机组，该空气处理机组包括：具有水平入风口及水平出风口的机壳，设置在所述机壳内入风口处的化学过滤器，设置在所述机壳内出风口处的中效或高中效过滤器，以及设置在所述化学过滤器及所述中效或高中效过滤器之间的风机组件。在上述技术方案中，化学过滤器、风机组件及中效或高中效过滤器依次装设在同一机壳内，即空气处理机组自带风机，使得化学过滤器、可以采用较厚的吸附剂层，从而延长了化学过滤器的使用寿命，进而提高了空气处理机组连续工作的时间。
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公开(公告)号：CN204388232U
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201420871451.8
申请日：2014-12-31
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 武汉华星光电技术有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种空气处理系统，包括洁净室，上夹层和下夹层及回风竖井；洁净室内包括设备围挡，设备围挡围成的空间用于容纳工作中会散发化学物质污染物的设备；下夹层和洁净室通过带回风口的隔板系统隔开；下夹层内包括容纳室，容纳室包括自下夹层的顶部向下延伸的下层围挡和位于下层围挡底端的容纳室底板，设备围挡内的空气可通过隔板系统的回风口进入下层围挡内；位于容纳室底板下方的化学物质污染物处理装置，其通过管道与容纳室的空间相连通；经化学物质污染物处理装置处理后的空气可经回风竖井进入上夹层。本实用新型解决了洁净室内循环空气全部经过化学物质污染物处理装置处理，导致的需要处理的空气的量巨大，处理效率低的技术问题。
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公开(公告)号：CN112683973A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011524795.8
申请日：2020-12-22
Applicant: 世源科技工程有限公司
IPC: G01N27/30 , G01N27/416 , G05D27/02
Abstract: 本发明涉及半导体行业中SO2浓度的检测领域，公开一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法，包括：收集待检测气体，将收集后的待检测气体通过四电极电化学二氧化硫传感器依据预定的检测策略进行多次检测，以获取多个气体浓度检测值；根据多个气体浓度检测值获取待检测气体浓度值。这里通过将待检测气体收集至收集袋中，并通过四电极电化学二氧化硫传感器对待检测气体的浓度进行检测，四电极电化学二氧化硫传感器检测精度高，并且为了进一步提高检测精度，这里依据设定的检测策略对待检测气体进行多次检测，并将获取的待检测气体的检测值经过一系列的计算得到最终的待检测气体浓度值。
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公开(公告)号：CN110711436A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201911153366.1
申请日：2019-11-22
Applicant: 世源科技工程有限公司
IPC: B01D46/00
Abstract: 本发明公开了一种低风阻的化学过滤器的制作方法，属于空气净化领域，包括以下步骤：S1：将化学过滤器的滤料粘连在条形基材上；S2：将上述步骤中所述基材层叠连接成滤布，滤布的厚度为条形基材的宽度；S3：将上述步骤所述滤布折叠成化学过滤器的滤材；S4：将上述步骤中所述滤材的四周加框和密封组成化学过滤器。利用本发明的方法制作的化学过滤器具有低风阻、高效率、价格便宜的优势。
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