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公开(公告)号：CN101844328A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010141121.X
申请日：2010-03-25
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Inventor： 坂田谦太郎
CPC classification number: B24B53/017
Abstract: 本发明涉及用于清洗研磨布的装置和方法，本发明的用于清洗研磨布的装置能够提高研磨布受到的清洗水的压力、确保从研磨布移除沉积物并提高研磨效率。该用于清洗研磨布的装置用于如下研磨设备：在该研磨设备中，工件被压到粘附于研磨板的研磨布上，在将研磨液供给到研磨布的同时使工件相对于研磨板移动，从而研磨工件。该用于清洗研磨布的装置包括具有能够向研磨布喷射高压清洗水以清洗研磨布的喷嘴的喷嘴单元。所述喷嘴是直喷嘴，该直喷嘴能够直线状地喷射清洗水并且与研磨布垂直地喷射清洗水。
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