公开(公告)号：CN1245466C

公开(公告)日：2006-03-15

申请号：CN02127360.X

申请日：2002-07-23

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 酒井谦儿 ,  玉井一诚 ,  北村忠浩 ,  松田刚 ,  伊奈克芳

IPC: C09G1/02

CPC classification number: H01L21/3212 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  C23F3/06

Abstract: 一种抛光组合物，它包含：(a)至少一种选自二氧化硅和氧化铝的研磨剂；(b)至少一种有机化合物，它选自聚环氧乙烷、聚环氧丙烷、聚氧乙烯烷基醚、聚氧丙烯烷基醚、聚氧乙烯聚氧丙烯烷基醚和由式(1)表示的具有C≡C三键的聚氧化烯加聚物：其中R1-R6各是H或C1-10烷基，X和Y各是乙烯氧基或丙烯氧基，m和n各是1-20的正整数；(c)至少一种选自柠檬酸、草酸、酒石酸、甘氨酸、α-丙氨酸和组氨酸的加速抛光的化合物；(d)至少一种选自苯并三唑、苯并咪唑、三唑、咪唑和甲苯三唑的防腐蚀剂；(e)过氧化氢；以及(f)水。

公开(公告)号：CN1398939A

公开(公告)日：2003-02-26

申请号：CN02127360.X

申请日：2002-07-23

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 酒井谦儿 ,  玉井一诚 ,  北村忠浩 ,  松田刚 ,  伊奈克芳

IPC: C09G1/02

CPC classification number: H01L21/3212 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  C23F3/06

Abstract: 一种抛光组合物，它包含：(a)至少一种选自二氧化硅和氧化铝的研磨剂；(b)至少一种有机化合物，它选自聚环氧乙烷、聚环氧丙烷、聚氧乙烯烷基醚、聚氧丙烯烷基醚、聚氧乙烯聚氧丙烯烷基醚和由式(1)表示的具有C≡C三键的聚氧化烯加聚物：其中R1－R6各是H或C1－10烷基，X和Y各是乙烯氧基或丙烯氧基，m和n各是1－20的正整数；(c)至少一种选自柠檬酸、草酸、酒石酸、甘氨酸、α－丙氨酸和组氨酸的加速抛光的化合物；(d)至少一种选自苯并三唑、苯并咪唑、三唑、咪唑和甲苯三唑的防腐蚀剂；(e)过氧化氢；以及(f)水。