公开(公告)号：CN108977776A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810900908.6

申请日：2018-08-09

Applicant: 上海航天设备制造总厂有限公司

Inventor： 鞠鹏飞 ,  吴超 ,  宋晓航 ,  沙春生 ,  曹晓 ,  李忠建 ,  周宏

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/16 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/48 ,  C23C28/00

Abstract: 本发明公开了一种空间宽温域环境下高结合力固体润滑膜及其制备方法，采用离子注入与沉积结合磁控溅射技术在钛合金、铝合金、不锈钢、轴承钢基底上沉积由结合层(Ti)、过渡层(TiN/TiCN)和功能层(TiN/MoS2-Ag)依次构成的纳米晶复合涂层。所制备纳米晶复合涂层可在-150℃～300℃空间宽温域环境下可靠服役，且附着力强、摩擦系数低，可以大幅度提高空间飞行器运动部件的寿命，并提高其可靠性。此外本发明的制备方法具有离化率高、膜层设备结构简单、可批量化处理等特点，易于实现工业生产，具有良好的应用前景。

公开(公告)号：CN108977776B

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201810900908.6

申请日：2018-08-09

Applicant: 上海航天设备制造总厂有限公司

Inventor： 鞠鹏飞 ,  吴超 ,  宋晓航 ,  沙春生 ,  曹晓 ,  李忠建 ,  周宏

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/16 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/48 ,  C23C28/00

Abstract: 本发明公开了一种空间宽温域环境下高结合力固体润滑膜及其制备方法，采用离子注入与沉积结合磁控溅射技术在钛合金、铝合金、不锈钢、轴承钢基底上沉积由结合层(Ti)、过渡层(TiN/TiCN)和功能层(TiN/MoS2‑Ag)依次构成的纳米晶复合涂层。所制备纳米晶复合涂层可在‑150℃～300℃空间宽温域环境下可靠服役，且附着力强、摩擦系数低，可以大幅度提高空间飞行器运动部件的寿命，并提高其可靠性。此外本发明的制备方法具有离化率高、膜层设备结构简单、可批量化处理等特点，易于实现工业生产，具有良好的应用前景。