公开(公告)号：CN108032206A

公开(公告)日：2018-05-15

申请号：CN201711295078.0

申请日：2017-12-08

Applicant: 上海航天设备制造总厂有限公司

Inventor： 张勇 ,  王力 ,  杨洋 ,  周宇航

IPC: B24B29/02 ,  B24B41/00 ,  B24B41/04

CPC classification number: B24B29/02 ,  B24B41/005 ,  B24B41/04

Abstract: 本发明的超薄膜片边缘抛光工具包括可动抛光头模块、固定抛光头模块、上部底座、下部底座和抛光头背盖模块；所述固定抛光头模块与所述下部底座固连；所述抛光头背盖模块与所述上部底座和下部底座相连；所述可动抛光头模块包括可动抛光滚轮、抛光头滑块和楔形块；所述可动抛光滚轮与所述抛光头滑块相连，所述抛光头滑块与所述楔形块相连；所述抛光头背盖模块包括：抛光头背盖、电磁吸盘和背盖弹簧；所述电磁吸盘与所述抛光背盖相连，所述背盖弹簧套设在所述电磁吸盘上；所述抛光头滑块和所述楔形块置于所述上部底座和所述抛光头背盖内，且能在所述上部底座和所述抛光头背盖内移动，所述楔形块与所述背盖弹簧相连。