公开(公告)号：CN104894518A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201410079238.8

申请日：2014-03-06

Applicant: 上海福宜真空设备有限公司

Inventor： 褚家宝 ,  谭新 ,  韩子水 ,  李杰

IPC: C23C14/35

Abstract: 本发明涉及一种平面阴极，包含靶材、壳体、设置在壳体内的软铁底板、设置在软铁底板上的磁阵，靶材位于所述磁阵的上方，所述磁阵包含N组并沿软铁底板的横向进行竖直的等距排列；所述磁阵包含：形成在软铁底板上的环形跑道、设置在软铁底板上被环形跑道所包围的第一磁铁、设置在软铁底板上用于包围环形跑道的第二磁铁；所述磁阵还包含：设置在环形跑道内用于隔离并固定第一磁铁和第二磁铁的铝块；其中，被铝块隔离的第一磁铁和第二磁铁的极性相反。同现有技术相比，由于需镀膜衬底在经过靶材上方的过程中需要通过多个磁阵形成的刻蚀跑道，从而使得靶材上溅射出的离子或原子会反复的覆盖在衬底的表面形成薄膜，以此来提高衬底镀膜的速度。

公开(公告)号：CN203764039U

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201420100921.0

申请日：2014-03-06

Applicant: 上海福宜真空设备有限公司

Inventor： 褚家宝 ,  谭新 ,  韩子水 ,  李杰

IPC: B01D46/24

Abstract: 本实用新型涉及一种废气处理装置，包含由第一和第二筒体构成的筒状外壳、设置在筒状外壳内的筒状内壳和固定板、分别设置在第一和第二筒体上的入口法兰和出口法兰；其中，筒状内壳和固定板相对设置并采用固定杆进行连接；所述废气处理装置还包含：设置在筒状内壳中的过滤筒；过滤筒包含N组并沿固定杆的轴心进行环形阵列，且筒状内壳的端部和固定板上对应过滤筒的安装位分别开设有与过滤筒导通的第一圆孔和第二圆孔。同现有技术相比，废气可通过管道由入口法兰传送到筒状外壳内，然后由筒状内壳端面的圆孔进入过滤筒内，由过滤筒进行处理后，再由出口法兰带出，最后可经过机械泵等抽气装置将其进行排出，从而达到处理废气的目的。

公开(公告)号：CN203794976U

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201420098888.2

申请日：2014-03-06

Applicant: 上海福宜真空设备有限公司

Inventor： 褚家宝 ,  谭新 ,  韩子水 ,  李杰

IPC: C23C14/35

Abstract: 本实用新型涉及一种平面阴极，包含靶材、壳体、设置在壳体内的软铁底板、设置在软铁底板上的磁阵，靶材位于所述磁阵的上方，所述磁阵包含N组并沿软铁底板的横向进行竖直的等距排列；所述磁阵包含：形成在软铁底板上的环形跑道、设置在软铁底板上被环形跑道所包围的第一磁铁、设置在软铁底板上用于包围环形跑道的第二磁铁；所述磁阵还包含：设置在环形跑道内用于隔离并固定第一磁铁和第二磁铁的铝块；其中，被铝块隔离的第一磁铁和第二磁铁的极性相反。同现有技术相比，由于需镀膜衬底在经过靶材上方的过程中需要通过多个磁阵形成的刻蚀跑道，从而使得靶材上溅射出的离子或原子会反复的覆盖在衬底的表面形成薄膜，以此来提高衬底镀膜的速度。