公开(公告)号：CN115930805A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211609665.3

申请日：2022-12-14

Applicant: 上海电机学院

Inventor： 李志松 ,  孙佳兴 ,  崔佳雯 ,  翟天宝 ,  徐潇 ,  胡红磊

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种透镜中心厚度的自动测量装置与检测方法，包括光谱共焦系统和斐索干涉系统，光谱共焦系统包括光源、共焦小孔和光学系统，光学系统包括第一半反半透镜、色焦镜头和分光镜；斐索干涉系统包括斐索干涉仪和计算机，斐索干涉仪包括激光发射组件和第一成像镜、参考镜、第二扩束镜、第二半反半透镜、第二成像镜和CCD相机。本发明利用光谱共焦系统测得带有误差分量的透镜中心厚度，在斐索干涉系统中利用视场标定与Zernike波面拟合对待测透镜的物理平移误差分量、倾斜误差分量进行实时检测，并利用误差修正公式对已测得的透镜中心厚度进行自动校正，进而实现对透镜中心厚度进行精准测量，可大幅节省人工和时间成本，提高检测效率。