一种基于微纳隔离结构的高密度低串扰波导阵列

    公开(公告)号:CN112180506B

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202011078336.1

    申请日:2020-10-10

    Abstract: 本发明提出一种基于微纳隔离结构的高密度低串扰波导阵列,包括基底以及基于硅波导的芯层;芯层包括两个相同结构参数的硅宽波导和两个硅周期光栅;两个硅宽波导布置于基底上,相邻的两个硅宽波导之间设有两个不同参数结构的硅周期光栅。通过中间光栅结构,使得不同波导之间光的相位失配,达到抑制耦合的作用,从而提出一种结构紧凑、透射率高且串扰低的波导阵列。

    一种基于微纳隔离结构的高密度低串扰波导阵列

    公开(公告)号:CN112180506A

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN202011078336.1

    申请日:2020-10-10

    Abstract: 本发明提出一种基于微纳隔离结构的高密度低串扰波导阵列,包括基底以及基于硅波导的芯层;芯层包括两个相同结构参数的硅宽波导和两个硅周期光栅;两个硅宽波导布置于基底上,相邻的两个硅宽波导之间设有两个不同参数结构的硅周期光栅。通过中间光栅结构,使得不同波导之间光的相位失配,达到抑制耦合的作用,从而提出一种结构紧凑、透射率高且串扰低的波导阵列。

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