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公开(公告)号:CN116605795A
公开(公告)日:2023-08-18
申请号:CN202310754143.0
申请日:2023-06-25
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种升降机系统,包括:升降机本体以及保护装置;升降机本体包括运动台和丝杆,丝杆围绕自身轴线可转动,以驱动运动台沿丝杆的轴向移动;保护装置包括限位单元和监测单元;限位单元包括限位件,限位件沿自身轴向可移动,限位件在检修升降机本体时,与运动台相抵靠;监测单元包括监测件,监测件与丝杆间隔设置,用于监测丝杆的转速。如此配置,限位件在检修升降机本体时,与运动台相抵靠,限制运动台沿丝杆的轴向的移动,保证了操作者在检修过程中的安全;监测件用于监测丝杆的转速,并在四个丝杆的转速不一致时发出报警信号,保证在丝杆发生错位或监测件的位置发生变化时,及时通知操作者,提升了整个升降机系统的安全性和实用性。
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公开(公告)号:CN222331351U
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202421225817.4
申请日:2024-05-31
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司 , 上海新昇晶睿半导体科技有限公司
IPC: B66C1/42
Abstract: 本实用新型提供一种晶棒吊装夹具,包括:驱动组件、夹持组件以及限位组件;驱动组件与夹持组件连接,用于驱动夹持组件张开或闭合;夹持组件包括两个夹持臂,两个夹持臂之间形成用于夹持晶棒的夹持区;限位组件包括限位件和限位块,限位件的一端与驱动组件连接,另一端为自由端并伸向夹持臂,限位块设置于夹持臂上,限位件沿预定轨迹滑入或滑出限位块,并在滑入限位块时与限位块相卡合,以限制或解除限制夹持臂的张开程度。如此配置,本申请提供的夹具能够在不需要手动操作的情况下,通过限位件在限位块中的滑动,从而实现对夹持臂的张开程度的控制,提升了工作效率的同时,也避免出现手动操作带来的不必要的损伤,进一步提升了产品的良率。
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