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公开(公告)号：CN103309166B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201210062631.7
申请日：2012-03-09
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明公开了一种可动镜片调整装置及应用其的可调式光学系统，用于调整可动镜片相对于镜筒的位置。可动镜片调整装置包括驱动元件、杠杆、第一双球轴承以及第二双球轴承。杠杆包括本体与支撑座，支撑座设置于镜筒，本体可转动地设置于支撑座，且本体具有第一支臂与第二支臂。第一双球轴承连接驱动元件与第一支臂。第二双球轴承连接第二支臂与可动镜片。本发明通过两个双球轴承结构，可避免杠杆在转动过程中，其第一支臂与驱动元件以及第二支臂与可动镜片之间发生滑移现象。
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公开(公告)号：CN103246036A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201210024609.3
申请日：2012-02-03
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明公开了一种光学平板定位机构，包括基座、支撑架、固定楔形块以及调整单元。基座具有凹槽。支撑架固定于基座，支撑架与凹槽形成一个具有开口的容置空间。固定楔形块固定于凹槽内并位于开口相邻的一侧，且具有对应光学平板的第一斜面的第一导向斜面。调整单元设置于凹槽内并位于开口相邻的另一侧。调整单元具有第二导向斜面，第二导向斜面对应第二斜面设置。调整单元、固定楔形块以及支撑架形成燕尾槽结构，用于固定光学平板，在放置或取出光学平板时，通过调整单元调整燕尾槽结构。本发明提供的光学平板定位机构加工精度高，成本较低，且重复定位精度高。
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公开(公告)号：CN103309166A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201210062631.7
申请日：2012-03-09
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明公开了一种可动镜片调整装置及应用其的可调式光学系统，用于调整可动镜片相对于镜筒的位置。可动镜片调整装置包括驱动元件、杠杆、第一双球轴承以及第二双球轴承。杠杆包括本体与支撑座，支撑座设置于镜筒，本体可转动地设置于支撑座，且本体具有第一支臂与第二支臂。第一双球轴承连接驱动元件与第一支臂。第二双球轴承连接第二支臂与可动镜片。本发明通过两个双球轴承结构，可避免杠杆在转动过程中，其第一支臂与驱动元件以及第二支臂与可动镜片之间发生滑移现象。
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公开(公告)号：CN106547069A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201510590890.0
申请日：2015-09-17
申请人： 上海微电子装备有限公司
CPC分类号： G02B7/182 , G03F7/2008
摘要： 本发明公开一种可动镜片轴向调整机构，其特征在于，包括：矩形镜片（100）、支撑镜座200）、弹性柱塞（300）、电机（400）和柔性支架500）；所述支撑镜座（200）、弹性柱塞（300）和电机（400）均固定在所述柔性支架（500）上面，所述矩形镜片（100）固定在所述支撑镜座（200）上；通过所述电机（400）和所述弹性柱塞（300）驱动所述柔性支架（500）的柔性铰链机构，实现所述矩形镜片（100）在Z方向的运动。本发明还提出了使用可动镜片轴向调整机构进行轴向调整的方法。与现有技术相比较，本发明通过在矩形镜片的短边处各布置一个平行四边形铰链机构，保证整个运动机构实现轴向运动，且结构简单，稳定可靠。
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公开(公告)号：CN105807384A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201410828819.7
申请日：2014-12-29
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明公开一种可动矩形镜片调整机构，包括：支撑基座、2侧的柔性块、所述矩形镜片、至少一个电机和若干的弹簧座和拉簧，所述柔性块固定在所述支撑基座上，所述支撑基座用于支撑所述矩形镜片；其特征在于，所述柔性块为对称结构且有8处开槽。与现有技术相比较，本发明可动镜片调整机构通过在矩形镜片的两条短边处各布置一个双平行四边形铰链机构，保证整个运动机构只有一个自由度，结构简单，稳定可靠。
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公开(公告)号：CN102213891B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201010143667.9
申请日：2010-04-09
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03B9/06
摘要： 本发明提出一种可变光阑，包括：支撑架；旋转盘，和所述支撑架相连；安装板，和所述旋转盘相连；移动导轨组合，固定于所述安装板上；多组叶片组合，位于所述移动导轨组合上，所述叶片组合相互之间交错叠加，且相邻的所述叶片组合两端相连，多组所述叶片组合形成一环状结构；定位连杆，位于所述移动导轨组合和所述叶片组合之间，且和所述移动导轨组合和所述叶片组合分别相连；转动轴组合，位于所述安装板之上，且位于所述叶片组合一侧。本发明提供的可变光阑可变范围比较大，能够达到100mm以上；光阑圆孔的圆度较高，精度也更高；叶片结构也比较简单，易加工。
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公开(公告)号：CN106547065A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201510590513.7
申请日：2015-09-17
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明公开一种可动镜片调整机构，包括：驱动机构组件（100）、可动镜片（200）和支撑座300），其特征在于，所述驱动机构组件（100）安装在所述支撑座（300）上，所述可动镜片（200）安装在所述驱动机构组件（100）上；通过所述驱动机构组件（100）的运动实现所述可动镜片（200）的三个自由度调整。与现有技术相比较，本发明可动镜片调整机构克服了现有技术中存在的结构复杂、调整时出现窜动等现象，具有结构简单、稳定可靠等优点。
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公开(公告)号：CN106547063A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201510590252.9
申请日：2015-09-17
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明公开一种可动镜片调整机构，包括镜片（100）和镜筒（200），其特征在于，所述镜筒200）分为内圈（210）、柔性铰链机构（220）和外圈（230）三部分；所述镜片（100）固定在内圈210）上，所述内圈（210）通过三个均布的柔性铰链机构（220）与外圈（230）相连。与现有技术相比较，本发明通过一种对称的平行四边形铰链机构，保证电机在驱动杆件过程中，电机驱动点与杆件之间不发生径向滑移，可实现可动镜片高精度调整需求。
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公开(公告)号：CN104181665B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201310192727.X
申请日：2013-05-22
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于物镜镜片调节的手动微调机构，连接镜筒和镜组，包括三个均布于镜筒圆周上的调节组件，调节组件包括上螺杆、下螺杆和固定座，上螺杆和下螺杆上分别设有第一外螺纹和第二外螺纹，固定座上设有与第一外螺纹相匹配的第一内螺纹，固定座固定于镜筒上；镜组上设有与第二外螺纹相匹配的第二内螺纹，第一外螺纹与第二外螺纹螺距不同，所述上下螺杆之间柔性连接。本发明中，旋转上螺杆，上下螺杆相对于镜筒产生Z向位移，同时所述的镜座相对于上下螺杆产生Z向位移，镜筒与镜组之间产生Z向相对位移，以此形成差分调节，提高调节的精度；上下螺杆之间柔性连接，以减小上下螺杆对镜组产生的应力，保证倾斜调节量，且结构简单，便于实现。
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