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公开(公告)号：CN100397687C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200610030473.1
申请日：2006-08-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海应用技术学院
Abstract: 本发明为一种用于自呼吸式微型质子交换膜(PEM)燃料电池的阴极流场板结构，特别涉及采用微电子机械系统(MEMS)技术加工的新结构。该流场由双层复合镂空结构，两层镂空尺寸依次减小；即流场板靠近空气一侧，加工成垂直于硅片方向的镂空流道，在靠近膜电极的另一侧，对应于靠近空气侧的镂空流道处加工垂直于硅片的流道，使硅片贯穿，且靠近膜电极侧的每个流道尺寸小于靠近空气侧的流道尺寸。既保证了氧气能有效扩散，又有利于氧气在电极内部的均匀分布，从而提高催化剂的有效利用率；此外，这种双层复合结构使流场与膜电极接触更紧密，接触电阻较小，因而采用本发明提供的双层复合镂空结构的电池性能显著提高。
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公开(公告)号：CN101592578A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200910053797.0
申请日：2009-06-25
Applicant: 上海应用技术学院
Abstract: 本发明涉及一种硅悬臂梁传感器及其制备方法和应用，属于微纳米传感器领域。即在悬臂梁的自由末端附近通过选择性阳极氧化方法在氢氟酸溶液内形成多孔硅结构。利用该多孔硅区域增大的比表面结构，在硅孔内壁上自组装大量特异性识别的具有硅氧头基和特异性尾基的线性聚合物或超枝化聚合物敏感分子，可以特异性俘获大量的被检测化学分子以积累较大的被测物俘获质量。本发明的一种硅悬臂梁传感器结构简单、制作方便、容易实现，可以应用在痕量化学气体检测。
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公开(公告)号：CN1933221A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200610030473.1
申请日：2006-08-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海应用技术学院
Abstract: 本发明为一种用于自呼吸式微型质子交换膜(PEM)燃料电池的阴极流场板结构，特别涉及采用微电子机械系统(MEMS)技术加工的新结构。该流场由双层复合镂空结构，两层镂空尺寸依次减小；即流场板靠近空气一侧，加工成垂直于硅片方向的镂空流道，在靠近膜电极的另一侧，对应于靠近空气侧的镂空流道处加工垂直于硅片的流道，使硅片贯穿，且靠近膜电极侧的每个流道尺寸小于靠近空气侧的流道尺寸。既保证了氧气能有效扩散，又有利于氧气在电极内部的均匀分布，从而提高催化剂的有效利用率；此外，这种双层复合结构使流场与膜电极接触更紧密，接触电阻较小，因而采用本发明提供的双层复合镂空结构的电池性能显著提高。
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公开(公告)号：CN105271361B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510713929.3
申请日：2015-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海应用技术学院
Abstract: 本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：1）清洗基底表面；2）采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3）在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4）再将基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5）采用原子层沉积工艺在基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6）重复步骤3）-4），形成树枝状的氧化锌纳米线阵列。本发明提供的一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，制备温度低，纳米树枝结构均匀性好、致密性好，适用于非平面或具备复杂结构的基底，简单可行。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101592578B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200910053797.0
申请日：2009-06-25
Applicant: 上海应用技术学院
Abstract: 本发明涉及一种硅悬臂梁传感器及其制备方法和应用，属于微纳米传感器领域。即在悬臂梁的自由末端附近通过选择性阳极氧化方法在氢氟酸溶液内形成多孔硅结构。利用该多孔硅区域增大的比表面结构，在硅孔内壁上自组装大量特异性识别的具有硅氧头基和特异性尾基的线性聚合物或超枝化聚合物敏感分子，可以特异性俘获大量的被检测化学分子以积累较大的被测物俘获质量。本发明的一种硅悬臂梁传感器结构简单、制作方便、容易实现，可以应用在痕量化学气体检测。
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公开(公告)号：CN105271361A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510713929.3
申请日：2015-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海应用技术学院
Abstract: 本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：1）清洗基底表面；2）采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3）在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4）再将基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5）采用原子层沉积工艺在基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6）重复步骤3）-4），形成树枝状的氧化锌纳米线阵列。本发明提供的一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，制备温度低，纳米树枝结构均匀性好、致密性好，适用于非平面或具备复杂结构的基底，简单可行。
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公开(公告)号：CN104743507B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510143216.8
申请日：2015-03-30
Applicant: 上海应用技术学院
Abstract: 本发明公开一种在微器件表面区域性生长氧化锌纳米线阵列的方法，即首先是在微器件表面沉积一层聚对二甲苯类衍生物薄膜；然后再利用氧等离子体使用光刻工艺对聚对二甲苯类衍生物薄膜进行刻蚀，在微器件表面被氧等离子体刻蚀掉的聚对二甲苯类衍生物薄膜区和被保留的聚对二甲苯类衍生物薄膜区在微器件表面形成图形区域；最后使用水热法在温度低于100℃下将氧化锌纳米线阵列原位生长于微器件表面被氧等离子体刻蚀掉的聚对二甲苯类衍生物薄膜区，从而得到表面区域性生长氧化锌纳米线阵列的微器件。该方法可以保证在氧化锌纳米线的生长过程中微器件上原有的电极等元件不致损害，即本方法与微器件的制造具有兼容性。
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公开(公告)号：CN104743507A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510143216.8
申请日：2015-03-30
Applicant: 上海应用技术学院
Abstract: 本发明公开一种在微器件表面区域性生长氧化锌纳米线阵列的方法，即首先是在微器件表面沉积一层聚对二甲苯类衍生物薄膜；然后再利用氧等离子体使用光刻工艺对聚对二甲苯类衍生物薄膜进行刻蚀，在微器件表面被氧等离子体刻蚀掉的聚对二甲苯类衍生物薄膜区和被保留的聚对二甲苯类衍生物薄膜区在微器件表面形成图形区域；最后使用水热法在温度低于100℃下将氧化锌纳米线阵列原位生长于微器件表面被氧等离子体刻蚀掉的聚对二甲苯类衍生物薄膜区，从而得到表面区域性生长氧化锌纳米线阵列的微器件。该方法可以保证在氧化锌纳米线的生长过程中微器件上原有的电极等元件不致损害，即本方法与微器件的制造具有兼容性。
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公开(公告)号：CN101030649A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200710036872.3
申请日：2007-01-26
Applicant: 上海应用技术学院 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 本发明公开了一种用于微型质子交换膜燃料电池组的燃料分配器，该分配器的制备方法，使用这种分配器的电池组。本发明燃料分配器的结构可以根据需要调整单体电池的个数实现若干个电池串联，统一流体分配腔可使流体均匀分布，尤其在电池串联个数较多时，还可避免进入各单体电池流体温度和压力的不均匀。使用本发明燃料分配器和按照本发明连接方式组成的电池组，其性能比各单体电池性能的加和高。
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