公开(公告)号：CN115436447A

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN202211136668.X

申请日：2022-09-19

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 李曼曼 ,  金妍 ,  吕旖雯 ,  徐丘雨

IPC: G01N27/414 ,  G01N27/333 ,  C23C14/30 ,  C23C14/18

Abstract: 本发明涉及一种离子敏场效应晶体管型pH传感器及其制备方法，包括衬底(1)、绝缘层(2)、敏感膜为RuO2‑Ta2O5的有源层(3)、漏电极(4)以及源电极(5)，具体制备步骤为在衬底(1)上制备绝缘层(2)，在绝缘层(2)上通过涂覆制备敏感膜为RuO2‑Ta2O5的有源层(3)，在有源层(3)上制备漏电极(4)和源电极(5)，再将有源层(3)、漏电极(4)和源电极(5)通过环氧树脂封装形成传感器槽，即得到基于RuO2‑Ta2O5敏感膜的离子敏场效应晶体管型pH传感器。与现有技术相比，本发明采用RuO2和Ta2O5作为有源层的敏感膜材料，能够减小漂移；本发明所制备的pH传感器具有响应速度快、灵敏度高、稳定性好、体积小等优点，制备简单，可大规模生产，具有应用前景。