-
公开(公告)号：CN109811326A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910042504.2
申请日：2019-01-17
Applicant: 上海大学 , 昆山益固纳米科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种利用HIPIMS方法结合镀膜智能监控加气系统制备化合物薄膜材料的方法，运用高功率脉冲磁控物理气相沉积方法制备高质量化合物薄膜，利用智能监控加气系统检测真空腔体内等离子体密度与分布情况、等离子体能量以及各工艺气体的比例变化，自动调控腔体内工艺气体的加入量以及加入量的变化速度，结合HIPIMS技术溅射各类靶材，本发明方法发挥高功率磁控溅射的成膜特点，且通过引入智能监控加气系统，采用适当的工艺可制备性能优良的所需化学计量比的高质量化合物薄膜材料，解决现有的反应溅射镀膜中因靶材表面“毒化”而导致的溅射效率下降，靶材表面“毒化”打火，而成膜质量下降的问题。
-
公开(公告)号：CN103301970B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201310121872.9
申请日：2013-04-10
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种液体注入式微点雾喷射装置。它包括精确液体输入装置、气体输入装置、输液导管、输液导管及喷嘴，输液导管将由气体输入装置输送的气体作为驱动介质接入，输液导管存在收缩段；精确液体输入装置提供连续、脉冲或者间断的液体供应；输液导管将由精确液体输入装置所输送的受控液体从输液导管收缩段或其上游的输液导管侧壁或者输液导管中心位置注入；输液导管在收缩段下游端部连接等截面管段；喷嘴处于输液导管等截面管段的端部。本发明应用于粉末冶金、喷墨、喷涂、喷胶、焊接、快速成形等液体射流喷射工艺。本发明应用微管道内的微射流流动的失稳机制，利用液滴形成的周期性和可控性的特点使高频率、高精度的点喷、雾喷效果得以保障。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107541713A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201710573592.X
申请日：2017-07-14
Applicant: 上海大学
IPC: C23C16/27
Abstract: 本发明公开了一种载能离化原子团束辅助化学气相沉积制备DLC薄膜的方法及其系统，以无机或者有机基板作为基底，在薄膜沉积之前，利用载能离化原子团束对基底进行溅射清洗、活化和平坦化处理；采用PECVD的方法在基板表面沉积DLC薄膜，同时利用载能离化原子团束对沉积的DLC薄膜进行轰击，获得高度致密的DLC薄膜。采用这种方法大大提高了DLC薄膜的致密度、耐磨性、硬度和膜/基结合力。本发明工艺易于控制，可应用于在各种工具和部件的表面镀制类金刚石薄膜。
-
公开(公告)号：CN103316791B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201310234295.4
申请日：2013-06-14
Applicant: 上海大学
IPC: B05B7/02
Abstract: 本发明涉及一种多点集成微点雾喷射装置。它包括双流体点雾喷射模块，控制模块和检测模块，双流体点雾喷射模块包括上部腔体、开口于上部腔体的注入导管阵列、中部腔体、下部基板、开孔于下部基板的输出导管阵列，以及开口于上部腔体的推液气体输入管、液体输入管和开口于中部腔体的注气气体输入管。控制模块包括气源、液源、控制中心、推液调压阀、注气调压阀和流控阀以及相关的连接管线和控制信号线。检测模块包括检测与反馈单元。本发明根据微管道内的微射流流动的失稳机制及微管内三相接触的特殊性，利用液滴形成的周期性和可控性等特点使得高频率、高精度的点喷、雾喷效果得以保障，同时采用多管集成的方式，获得大面积喷射效果，大大提高了生产的效率。本发明可以应用于粉末冶金、喷墨、喷涂、喷胶、焊接、快速成形等液体射流喷射工艺。
-
公开(公告)号：CN103316791A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310234295.4
申请日：2013-06-14
Applicant: 上海大学
IPC: B05B7/02
Abstract: 本发明涉及一种多点集成微点雾喷射装置。它包括双流体点雾喷射模块，控制模块和检测模块，双流体点雾喷射模块包括上部腔体、开口于上部腔体的注入导管阵列、中部腔体、下部基板、开孔于下部基板的输出导管阵列，以及开口于上部腔体的推液气体输入管、液体输入管和开口于中部腔体的注气气体输入管。控制模块包括气源、液源、控制中心、推液调压阀、注气调压阀和流控阀以及相关的连接管线和控制信号线。检测模块包括检测与反馈单元。本发明根据微管道内的微射流流动的失稳机制及微管内三相接触的特殊性，利用液滴形成的周期性和可控性等特点使得高频率、高精度的点喷、雾喷效果得以保障，同时采用多管集成的方式，获得大面积喷射效果，大大提高了生产的效率。本发明可以应用于粉末冶金、喷墨、喷涂、喷胶、焊接、快速成形等液体射流喷射工艺。
-
公开(公告)号：CN115573773A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211348654.4
申请日：2022-10-31
Applicant: 上海隧道工程有限公司 , 上海大学
IPC: E21F17/107 , E21F17/103 , E21D9/06
Abstract: 本发明公开了一种泥水平衡盾构进洞伺服控制密封装置及方法，包括柔性封堵板(1)、防水封堵垫(2)、伺服控制系统(3)和洞圈(9)；洞圈(9)固定在泥水平衡盾构机进洞洞口处，伺服控制系统设在洞圈内壁上，防水封堵垫的一端密封连接洞圈并罩盖伺服控制系统，防水封堵垫的另一端与柔性封堵板连接，防水封堵垫能随若干组伺服控制系统的柱塞伸展而形变，柔性封堵板位于洞圈的内侧，使柔性封堵板能随防水封堵垫同步形变并密封贴合在泥水平衡盾构机身和隧道管片上。本发明能解决现有技术中泥水平衡盾构进洞施工时，盾构进洞封堵可靠性差、加固费时费资、密封效果不乐观、装置安全性弱、环境安全隐患多、容易诱发洞口失稳、漏水漏浆等问题。
-
公开(公告)号：CN103301970A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310121872.9
申请日：2013-04-10
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种液体注入式微点雾喷射装置。它包括精确液体输入装置、气体输入装置、输液导管、输液导管及喷嘴，输液导管将由气体输入装置输送的气体作为驱动介质接入，输液导管存在收缩段；精确液体输入装置提供连续、脉冲或者间断的液体供应；输液导管将由精确液体输入装置所输送的受控液体从输液导管收缩段或其上游的输液导管侧壁或者输液导管中心位置注入；输液导管在收缩段下游端部连接等截面管段；喷嘴处于输液导管等截面管段的端部。本发明应用于粉末冶金、喷墨、喷涂、喷胶、焊接、快速成形等液体射流喷射工艺。本发明应用微管道内的微射流流动的失稳机制，利用液滴形成的周期性和可控性的特点使高频率、高精度的点喷、雾喷效果得以保障。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.025 seconds)
